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1. 氮?dú)饧兌龋汉趿啃∮?ppm 露點(diǎn)-56℃
2. 氮?dú)饬髁浚?-300ml/min
3. 氮?dú)鈮毫Γ?.4MPa
4. 氫氣純度：99.999%
5. 氫氣流量：0-300ml/min
6. 氫氣壓力：0.4MPa
7. 空氣流量：0-2000ml/min
8. 空氣壓力：0.4MPa
9. 消耗功率：330W