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正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。
大行程移動平臺設計
采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉換器
轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩重的機架結構設計
工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。
產品參數:
光學系統 :無限遠色差光學系統
觀察方式 :明場/暗場/偏光/DIC(選配)
觀察筒: 30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,分光比100:0或0:100
5-35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50-76mm,單邊視度調節:±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100
目鏡 :高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,視度可調
物鏡 :無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X
轉換器 :5孔內傾式明暗場轉換器,帶DIC插槽
調焦機構 :反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統 , 帶光亮度設定暗扭與復位按扭
載物臺 :6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節;平臺面積445mm×240mm,移動范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板(反射用)
照明系統 :明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾光片插槽與偏光裝置插槽
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