ZDF-1A/ZDF-1B數顯式復合真空計

儀器名稱：數顯式復合真空計
ZDF-1A型（測控范圍100000－10－6Pa）
ZDF-1B型（測控范圍100000-10－4Pa）
控制輸出： 全量程上下限可調四路繼電器（選件）
數據輸出： RS485（配通訊光盤）（選件）
                全量程0－5V（或4-20mA）對數線性輸出（選件）
規管切換：  1－99分鐘可調延遲
規管除氣：  99秒自動
測量模式：  手動優先/自動優先
配用規管：  電阻規（皮拉尼規）、電離規二路測量
可擴充性：  可增加一路熱偶規測量（ 選件）
面板尺寸：  320寬×99高×200深
 

一、特點及用途：

本儀器是內含微處理器的傻瓜型高性能儀器，是專為1.0E5Pa到1.0E-6Pa（ZDF-1A型）或1.0E5Pa到1.0E-4Pa （ZDF-1B型）范圍真空自動測量控制而設計的，有電阻規、電離規、熱偶規三個測量通道（其中熱偶規測量通道根據用戶選購時定制）。有鎖定自動、手選自動、手動三種操作模式；從低真空電阻規測量*轉到高真空電離規測量有0-99分鐘可設延遲；機內參數有SOFTLOCK密碼鎖保護；新16位高速AD轉換電路；微處理器自動修正電路參數不*性給測量帶來的誤差。儀器具有可靠的抗沖擊線路自保護功能，可廣泛用于真空鍍膜、電子束焊、熱處理、冶金、化工、半導體、激光及電工行業。

二、技術條件：

1、     測量及控制范圍：1.0E5Pa到1.0E-6Pa （ZDF-1A型）

                     1.0E5Pa到1.0E-4Pa （ZDF-1B型）

2、     配用規管：電阻規、電離規（根據用戶要求可增加一路熱偶規）

通道2：ZJ-52（或ZJ-52K）金屬電阻規（測1.0E5Pa到0.1Pa）

通道3：ZJ-27抗氧化玻璃電離規（測5Pa到1.0E-6Pa） （ZDF-1A型）

       ZJ-10抗氧化中真空電離規（測26Pa到1.0E-4Pa） （ZDF-1B型）

        通道1：ZJ-54D（或ZJ-54DK）金屬熱偶規（測量300Pa到0.1Pa）（用戶選購件）

5、發射電流：   50μA允差3%（5.0Pa到1.0E-1Pa）

             5mA允差3%（9.9E-2Pa到1.0E-6Pa） （ZDF-1A型）

                50μA允差3%（26Pa到1.0E-2Pa）

                500μA允差3%（9.9E-3Pa到1.0E-4Pa） （ZDF-1B型）

   陽極電壓：225V允差3%（ZDF-1A型）

             165V允差3%（ZDF-1B型）

   陰極電壓：25V允差5%（ZDF-1A型）

             50V允差5%（ZDF-1B型）

   測量精度：讀數值±20%（1E5-1E3范圍為讀數值±50%）

6、輸出控制繼電器4路，每路均全量程可調、每路均有上下限設定，可用于區域控制和點位控制（用戶選購件）。

7、RS485串行輸出（用戶選購件）。

8、0-5V全量程線性電壓輸出（用戶選購件）。

7、電阻規和電離規測量可自動轉換，有鎖定自動、手選自動、手動三種模式。

8、電阻規*轉到電離規測量時可設定延時，延時可設范圍0-99分鐘。

9、功能設定有SOFTLOCK密碼鎖保護（本機密碼15）。

9、顯示單位：Pa；

10、顯示方式：*.*E**Pa冪次方科學計數法（舉例：3.2E-2Pa=0.032Pa;4.5E3Pa=4500Pa）

11、外型尺寸：99×320×200mm（高×寬×深）標準KBA機箱。

三、使用方法（可電詢021－62315744、62317134、）：

1、熟悉儀器：用戶將儀器不接規管通電，先行操作按鍵熟悉操作方法。儀表按鍵采用“所按即所得”方式操作。大數碼管顯示測量值，小數碼管顯示測量通道: 按“電阻2”鍵顯通道2-----電阻規測量值; 按“電離3”鍵顯通道3-----電離規測量值; 按“熱偶1”鍵顯通道1-----熱偶規測量值; 再按“熱偶1”鍵顯通道0-----熱偶規加熱電流值（28.0MA-50.0MA可調）。在顯通道2時按“自動”鍵，“AUTO”燈亮，儀器據測量值在電阻規和電離規間自動切換。

2、安裝規管：將規管用真空連接的方法接入真空系統（玻璃電離規必須先切割開口），并將規管用規管線同儀表相連。建議電阻規和電離規并接入主真空腔，熱偶規（用戶選購的話）接入前級真空管路。

3、使用前的調整：                                         

A、手動模式時（即開啟電源后“Auto（自動）”燈滅的狀態）：

當系統中確認為未抽真空處于大氣壓時，按“電阻2”鍵，用螺絲刀調面板上2孔電阻規滿度電位器，使2通道電阻規顯示為9.9E4Pa；當連好熱偶規（新規管）的情況下（此為用戶選購件），按“熱偶1”鍵二次，使顯示0通道熱偶規電流，用螺絲刀調面板上1孔熱偶規電流電位器，使顯示為30.0mA；電離規參數不用調節。

B、鎖定自動模式時（即開啟電源后“Auto（自動）”燈亮的狀態）：

   按下節儀表的設置方式先改為手動模式再照上條A項手動模式調整。

4、真空測量（可電詢021－62315744、62317134、）：

   （1） 開啟用戶真空抽氣機組即可測量真空，用戶可先用手動模式進行設備調試。1.0E5Pa到1.0Pa 時“按電阻2”用2通道的電阻規測低真空；5.0Pa到1.0E-6Pa（ZDF-1A型）、26Pa到1.0E-4Pa（ZDF-1B型）時“按電離3”用3通道電離規測高真空（如真空度不在電離規測量范圍，則按“電離3”鍵后，由于離子流曲線的下彎將會顯示虛假真空度，同時引起燈絲氧化進而燒毀燈絲）；用1通道熱偶規測前級管道真空。若需電離規除氣,當測量值低于9.9E-3Pa時,按住“DEG鍵”3秒鐘再放開，儀表進入99秒倒計數電離規除氣，按“電離3“鍵可中斷除氣。設備調試完畢用戶可據工藝要求改用鎖定自動模式或手選自動模式（手選自動模式時按“自動”鍵即可進入自動狀態（Auto狀態））進行測量。

（2）自動狀態（即“Auto（自動）”燈亮的狀態）：儀表自動首先用電阻規（小數碼管顯2）測量1.0E5Pa到4.0Pa，當所測系統內壓力低于4.0E0Pa時自動轉為電離規（小數碼管顯3）測量。自動狀態時按“電阻2”和“電離3”鍵儀表將不予理睬。用戶須注意區分鎖定自動（鍵已鎖定）或手選自動（按“自動”鍵即可亮或滅“自動”燈，鍵不鎖定）的差別，鎖定自動（鍵已鎖定）時，電阻規*測到轉換真空值時將再等待一段用戶設定的延時時間（時間長短據用戶功能設定“de”中設定而定，若設為0則無延遲功能）再轉到電離規測量，而手選自動中的自動無延遲。

（3）手選自動模式中自動或手動測量狀態的選擇：按“自動”鍵“Auto”燈亮，進入自動狀態，此時儀表測量自動轉換；再按“自動”鍵“Auto”燈滅進入手動控制狀態，此時儀表測量由用戶根據量程手動選擇電阻規或電離規。

真空系統放氣時請先切換到電阻規測量或直接關閉儀表電源以保護電離規（若儀表處于鎖定自動狀態時，可將用戶自動控制設備上控制放氣繼電器的一付觸點串入本真空計的220V供電電源回路中，放氣時該繼電器的觸點自動切斷真空計電源；放氣完畢真空泵再啟動時，該繼電器觸點吸合，真空計又恢復工作。