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一、產品概述：
本設備適用于芯片、航空、汽車、工礦企業、家電、實驗室、科研單位及 大專院校等領域對其產品及材料進行高溫烘烤、溫度度干燥、低真空密封 試驗、無氧處理，高溫去應力、高溫固化等應用。
二、技術參數：
產品名稱 | 半導體真空烘箱 |
控溫范圍 | RT+15~100℃ |
溫度分辨率 | ±0.1℃ |
溫度波動度 | ±0.3℃ |
傳感器精度 | ±0.1℃ |
真空度控制范圍 | 0.1MPa |
設計殘余真空度 | 50Pa |
真空壓力定義 | 機械相對壓力 |
真空度形成用時 | 約 5 分鐘 |
真空度解除用時 | 約 5 分鐘 |
內膽尺寸 | 415*370*345mm |
加熱功率 | 1.4KW |
真空泵功率 | 0.75KW (220V 電源) |
真空箱電源 | AC220V/50HZ 單相三線制 |
特氟龍涂層真空干燥箱半導體適用海向
三、設備技術特點：
l 主溫度控制器：高精度微電腦液晶控溫儀，采用PID與經驗值模糊控制技術，控溫精確、工作溫度與運行時間任意設定。
l 箱體結構：采用臺式結構設計，右面為高溫真空腔體，左箱為電器控制系統，腔體內有三層托盤、真空泵獨立、腔體內設有抽氣口、氮氣進氣口。
l 外殼材料：優質冷軋板噴涂處理，內膽材料：優質SUS304 厚度 3mm 鏡面不銹鋼板，內部圓滑滿焊，表面電解拋光處理噴涂特氟龍
l 箱門閉合松緊能調節，內膽邊采用嵌入槽式結構，整體成型日本進口 T 型 透明本色硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度，潔凈度無脫落。
l獨立超溫報警切斷加熱電源、漏電保護、過流檢測、接地等保護。
l 特氟龍開孔板，將樣品直接擺放，可負載 5Kg
（特氟龍涂層真空干燥箱半導體適用海向）
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