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工藝流程1：
1、空氣壓縮機：提供原料空氣，為空氣中的大氣給予7bar的壓力，以提供制造氧氣的原料和空氣中氮氣和氧氣分離所需要的壓力；
2、空氣凈化系統：壓縮空氣經過高效除油器除去大部分油水，精密過濾器使油水含量小于0.1ppm，冷凍式干燥機使水分(露點)降到8-10℃，微油污過濾器使油水含量降到0.01ppm含塵量小于0.01u，活性炭過濾器使壓縮空氣油水量降到0.003ppm；
3、制氧機主機：經過凈化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進行加壓吸附、減壓脫附。一般在系統中設置兩個吸附塔，一塔吸附產氧，另一塔脫附再生，通過PLC程序自動控制，使兩塔交替循環工作，以實現連續生產高品質氧氣；
4、氧氣灌裝系統：成品氧氣經過氧氣增壓機使壓力增加到15Mpa后可直接灌入鋼瓶當中。
3、空氣壓縮機：提供制氧所需的原料空氣，壓力0.7MPa
4、5空氣預冷系統：對空氣壓縮機排出的原料空氣進行降溫和除水。
6、7分子篩純化系統：利用分子篩進一步除去原料空中的游離水、
二氧化碳、乙炔及其他碳氫化合物。
9、10精餾塔：使空氣液化，分離氧氣氮氣，提取合格的氧氣。
12、13氧氣灌裝系統：成品氧氣通過氧氣壓縮機增壓灌裝，或童過液體儲槽儲存。
參數：
型號 | 氧氣產量(Nm3/h) | 純度% | 壓力(Mpa) | 充瓶數/h(40L) |
| TAO-3 | 3 | 92%-95% (深冷空分裝置99.6%) | 0.2Mpa-15Mpa | 0.5 |
| TAO-5 | 5 | 1 | ||
| TAO-10 | 10 | 2 | ||
| TAO-15 | 15 | 3 | ||
| TAO-20 | 20 | 4 | ||
| TAO-30 | 30 | 6 | ||
| TAO-40 | 40 | 8 | ||
| TAO-50 | 50 | 10 | ||
| TAO-60 | 60 | 12 | ||
| TAO-70 | 70 | 14 | ||
| TAO-80 | 80 | 16 | ||
| TAO-100 | 100 | 20 | ||
| TAO-200 | 200 | 40 | ||
| TAO-300 | 300 | 60 |
技術特點：
●壓縮空氣配置了空氣純化干燥處理裝置，潔凈干燥的空氣，有利于分子篩的*使用壽命
●采用的新型氣動截止閥，啟閉速度快，無泄露，使用切換壽命長，能滿足變壓吸附工藝頻繁使用，可靠性高
●完善的流程設計，新型分子篩的選用
●采用制氧新工節，不斷優化裝置設計，降低能耗和資本投資
●設備結構設計緊湊，減少占地面積
●設備性能穩定，采用PLC控制，可實現全自動操作，年運行故障率低 氧氣產量和純度可在適當范圍內調節。
杭州富陽天澳空分設備有限公司 - 主營產品： 小型制氮裝置,工業制氧裝置
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