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當前位置:> 供求商機> In-situ series-在線橢偏儀
貨物所在地:上海上海市
更新時間:2024-09-22 21:00:05
有效期:2024年9月22日 -- 2025年3月22日
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詳情介紹
在線橢偏儀儀器介紹:在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數(n,k)變化。 在線橢偏儀技術參數:·可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化 在線橢偏儀主要特點:將激發和探測頭引入生產設備,可實現:· 動態模式:實時監測膜厚變化· 光譜模式:監測薄膜的界面和組分
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