皓而普S49 32/MT質量流量計

1. 特點及主要應用領域

2. 氣體質量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域：

半導體制造行業的氣體流量控制；

分析儀器設備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設備；

環境檢測與分析設備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

2. S49系列質量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質量流量控制器(流量計)，S49為質量流量控制器(流量計)產品，32/MT為本公司此產品設計序列號。

質量流量計用于對氣體的質量流量精確測量計量；

質量流量控制器(流量計)不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質量流量功能。

型式批準證書：2011F215-11

執行Q/CYHMT001-2011企業標準

許可證編號：京制01050063號

3.主要技術指標

質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。

質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業標準)

L/min （升/分鐘）。  (SLM行業標準)

標準狀態為：溫度----273.15K（0℃）；

           氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

皓而普S49 32/MT質量流量計

表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標