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1、測量精度  

盡管目前各家能量色散儀器（均為Si-PIN類型）生產商和銷售商都給出了很高的技術指標，但在實際應用中（特別在被測樣品不進行處理的情況下），真正可以期待的準確度都在200~300ppm之間（測量塑料中有害元素時，準確度會好一些；對不規則樣品，則精度會更差）；波長色散X熒光分析儀的測量準確度比能量色散類型要高一個數量級，基本在20~50ppm左右。  

2、測量時間  

由于波長色散配備較大功率的X光管，熒光強度高；因此，波長色散儀器占用較短的測量時，便能達到較高的測量精度。  

3、被測量樣品的要求  

由于技術特點的差異，波長色散X熒光分析儀需要對被測儀量樣品進行簡單的處理；對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對粉末和其他樣品可以采用磨細后進行粉末壓片法處理，相應的設備市場上很容易找到。  

能量色散型儀器最大的優勢在于：可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產的過程控制中；  

但需要強調指出的是：從熒光理論上，被測量樣品的預先處理是必須的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術手段進行校正來滿足實際生產控制的需要，但即使采用了技術校正的手段，對不規則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。  

4、最佳應用范圍  

由于波長色散和能量色散類型X熒光分析儀各自的技術特點，兩種類型儀器所側重的應用方案也不盡相同；波長色散X熒光分析儀具有較高的測量精度，但同時需要對被測量樣品進行簡單處理，更適用于進廠原材料、半成品、成品的精確檢測和質量控制；能量色散X熒光分析儀雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優點，因此可直接在生產線上用于各種部件、電子元器件的檢測。  

5、能量分辨率  

能量分辨率是X熒光分析儀器的主要指標，分辨率數值越小，分辨率越高，儀器性能越。  

6、熒光強度  

對于X熒光分析儀器來說，各元素含量與該元素的熒光強度成正比關系；熒光強度越高，則統計誤差越小，測量的準確度越高，儀器性能越好。  

7、使用壽命  

波長色散類型儀器的使用壽命一般為10年以上；能量色散類型儀器的使用壽命一般也大于5年，影響能量色散型儀器壽命的主要因素是探測器部分老化導致其性能指標變差。