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　　X熒光光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光(二次X射線)，探測器對X熒光進行檢測。
 

　　一、X熒光光譜儀的技術原理：
 

　　受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 

　　元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關，其數(shù)學關系如下:
 

　　λ=K(Z? s) ?2
 

　　式中K和S是常數(shù)。
 

　　而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為:
 

　　E=hν=h C/λ
 

　　式中，E為X射線光子的能量，單位為keV;h為普朗克常數(shù);ν為光波的頻率;C為光速。
 

　　因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。
 

　　二、X熒光光譜儀的用途：
 

　　X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強度，可以 測定元素含量。
 

　　近年來，X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得較多也較廣泛。
 

　　大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。