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X射線熒光光譜法，是用X射線管發出的初級線束輻照樣品，激發各化學元素發出二次譜線（X-熒光）。X射線熒光分析儀分為波長色散型（WD-XRF）與能量色散型（ED-XRF）兩種。兩者雖然同屬于X射線熒光分析儀，產生信號的方法相同，后得到的波譜也極為相似，但由于采集數據的方式不同，兩者在原理和儀器結構上有所不同，功能也有區別。

1、原理上

波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X射線波長和強度，從而測定各種元素的含量。

能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF）是借組高分辨率敏感半導體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據各元素能量的高低來測定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結構也不同。

2、結構上

波長色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管），樣品室，分光晶體和檢測系統等組成。

為了準且測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系統安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要打，一般為2-3千瓦，單X射線管的效率極低，只有1%的功率轉化為X射線輻射功率，大部分電能均轉化為而能產生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價格往往比能譜儀高。

 

能量色散型熒光光譜儀（DE-XRF），一般由光源（X-線管），樣品室和檢測系統等組成，與波長色散型熒光光譜儀的區別在于他不分光晶體，由于這一特點使能量色散型熒光光儀具有如下的優點：

1、儀器結構簡單。裝置既省略了晶體的精密運動裝置，也無需調整。還避免了晶體衍射所照成的前度損失，光源使用的X射線管功率低，一般在100W一下，不需要昂貴的高壓發生器和冷卻系統，空氣冷卻即可，節省電力。

2、 能量色散型熒光光儀的光源。樣品，檢測器彼此靠得越近，X射線的利用率很高，不需要光學聚集，在累計整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。

3、在能量色散型熒光光譜儀中，樣品發出的全部特征X射線光子同時進入檢測器，這樣奠定了使用多道分析器和熒光同時累計和現實全部能譜（包括背景）睇基礎，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導體檢測器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

4、能量色散型熒光光譜儀減小了化學狀態引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減少了一起的漂移影響，提高凈計算的統計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減少偶然錯誤判斷某元素的可能性。