產地類別 | 進口 | 價格區間 | 150萬-200萬 |
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產品簡介
詳細介紹
激光共聚焦顯微鏡OLS5000 有4大關鍵價值:
- 捕捉任意表面形狀。
- 快速獲得可靠數據。
- 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
- 測量具有挑戰性的樣品。
價值1:捕捉任意表面形狀。
OLS5000顯微鏡的*技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。
價值2、快速獲得可靠數據
該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,zui終實現生產力的提升。
價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。
價值4、可測量具有挑戰性的樣品
低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。
激光共聚焦顯微鏡OLS5000獲取彩色信息
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。
OLS5000405納米激光光源
光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。
OLS5000激光共焦光學系統
激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像
OLS5000 X-Y掃描儀
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。
OLS5000高度測量原理
在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。
OLS5000主機規格:
型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |||
總倍率 | 54x - 17,280x | |||||||
視場直徑 | 16 μm - 5,120 μm | |||||||
測量原理 | 光學系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡 彩色 彩色DIC | ||||||
光接收元件 | 激光:光電倍增管(2ch) 色彩:CMOS 彩色相機 | |||||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | ||||||
動態范圍 | 16 位 | |||||||
可重復性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | |||||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 /- 1.5% | |||||||
拼接圖像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15 0.5L μm, 50x : 9 0.5L μm, 100x : 7 0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | |||||||
測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 | 1 納米 | |||||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | ||||||
可重復性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | |||||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 /- 1.5% | |||||||
拼接圖像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15 0.5L μm, 50x : 9 0.5L μm, 100x : 7 0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | |||||||
單次測量時測量點的zui大數量 | 4096 x 4096 像素 | |||||||
測量點的zui大數量 | 3600 萬像素 | |||||||
XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | • | 無 | 無 | • | 無 | ||
工作范圍 | 100 x 100 mm 電動 | 100 x 100 mm 手動 | 300 x 300 mm 電動 | 100 x 100 mm 電動 | 100 x 100 mm 手動 | |||
zui大樣品高度 | 100 mm | 30 mm | 30 mm | 210 mm | 140 mm | |||
激光光源 | 波長 | 405 nm | ||||||
zui大輸出 | 0.95 mW | |||||||
激光分類 | 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||||
彩色光源 | 白光 LED | |||||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |||
質量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 30 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 39 公斤 | ||
控制器 | 約 12 公斤 |