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產品簡介
詳細介紹
工業共聚焦顯微鏡采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統（能zui大限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。
作為表面粗糙度測量的新標準，奧林巴斯開發了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離zui長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數，因此具有相互兼容的操作性和測量結果。
| 截面曲線 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
|---|---|
| 粗糙度曲線 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動曲線 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負荷曲線 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, , AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應下一代參數
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數。通過評估平面區域，可以進行高可靠性的分析。
| 振幅參數 | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數 | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量儀的結果相兼容。 
微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠對微細形狀進行高分辨率的粗糙度測量。
非接觸式測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會影響樣品的表面狀態，可以準確的測量樣品
的表面粗糙度。
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測量結果（左）
| 工業共聚焦顯微鏡主機 | |||
| LSM 部分 | 光源、檢出系統 | 光源：405 nm 半導體激光 檢出系統：光電倍增管 | |
| 總倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 變焦 | 光學變焦1x ～ 8x | ||
| 測量 | 平面測量 | 重復性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正確性 | 測量值的±2%以內 | ||
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 內置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移動分辨率 | 10 nm | ||
| 顯示分辨率 | 1 nm | ||
| 重復性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正確性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測量長度μm） | ||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢查系統 | 光源：白色LED， 檢查系統：1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD | |
| 變焦 | 數碼變焦1x ～ 8x | ||
| 物鏡轉換器 | 6 孔電動物鏡轉換器 | ||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 內置偏振光片單元 | ||
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 平面復消色差透鏡20x、50x、100x | ||
| Z 對焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 載物臺 | 100×100 mm（電動載物臺）， 選件: 300×300 mm（電動載物臺） | ||
為專為在工業環境下實施檢測設計的A 類設備。如在住宅區內使用可能會干擾其他設備。
| 物鏡 | ||||
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（WD） | 數值孔徑（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |