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奧林巴斯OLS4100對(duì)透明樣品的透明層及基底進(jìn)行觀察和測(cè)量

閱讀：1542        發(fā)布時(shí)間：2017-8-24

硅片或玻璃基底上覆有一層透明薄膜，LEXT OLS4100可透過(guò)薄膜觀測(cè)基底的表面形貌

硅片基底光刻表面形貌測(cè)試圖

 

LEXT OLS4100全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣既可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和測(cè)量。

透明樣品內(nèi)層表面形貌觀察和測(cè)量

多層模式功能，可以分析透明體層，它可以測(cè)量透明層下的幾何形狀和表面粗糙度和膜層的厚度，即使樣品涂有塑料的玻璃基板。

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