晶圓基材太陽能模塊生產

快速、安全地傳輸晶圓和太陽能電池

H 型門架，帶伯努利吸盤 OGGB

H 型高速門架速度快、精度高且結構緊湊。

與伯努利吸盤 OGGB 組合使用，實現對易碎晶圓的非接觸式輕柔傳輸。

 

該過程非常安全且耗氣量少。

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工作空間大、速度快、傳輸平穩

在太陽能電池的生產過程中，通常需要對易碎的晶圓進行快速、的抓取和移動。H 型高速門架為此提供了理想的解決方案。

H 型高速門架專為抓取太陽能電池和晶圓而設計，覆蓋了長方形工作空間，zui多 4 個自由度。伯努利吸盤非常適用于易碎晶圓的非接觸式輕柔傳輸。

笛卡爾高速抓取系統，具有機器人功能

動態響應佳，每分鐘zui多抓取 100 次

結構緊湊、扁平：安裝/工作空間比出眾

• 低振動：對框架的要求降低
• 增加一個 Z 軸或旋轉/升降模塊，就可用于三維應用場合
• 即可安裝的完整系統，所有裝配、接線完畢
• 可選：（在一個控制柜中或一個安裝板上）

 

平滑地移動到終端位置：不僅能保護易碎晶圓

標準氣缸 DSBC

帶自調節氣動終端位置緩沖 PPS 的 DSBC 能地適應負載和速度的改變。

• 正確的緩沖能減少磨損。
• 自調節功能節省了時間。

 

用于控制柜的完整安裝板（晶圓切割）：完成裝配（包括所有氣管和電線）、經過檢查且提供文檔記錄

即可安裝的解決方案

為您的應用場合量身定制。

節省您的時間和安裝工作。

• 抓取系統
• 控制柜
• 安裝板
• 產品模塊

 

用于快速、地抓取晶圓

通過三角運動裝置 EXPT 實現高速抓取

• 速度比傳統的笛卡爾抓取系統更快
• 所需空間小
• 高度動態化，每分鐘抓取 150 次

技術參數

規格	EXCH-40	EXCH-60
X 軸行程 [mm]	500、750、1000、1,500 200 ...2000	750、1000、1500、2000 200 ...2500
Y 軸行程 [mm]	400、500、750、1000 200 ...1000	500、750、1000、1250、1500 500 ...1500
zui大動態響應的額定負載 [kg]	4	6
安裝位置	水平或垂直
重復精度 [mm]	±0.1
zui大速度 [m/s] 水平 垂直	5 4	5 3
zui大加速度 [m/s] 水平 垂直	50 30	50 30