貨號

CS-3200S4

測量范圍/

分辨力

X軸

100mm/0.05μm

Z1軸（檢出器）

5mm/0.08μm

0.5mm/0.008μm

0.05mm/0.0008μm

Z2軸（立柱）

1μm

精度（20℃）

X軸

±（0.8+0.01L）μm（L=測量長度（mm））

Z1軸（檢出器）

±（1.5+(2H)/100）μm（H=水平位置上的測量高度（mm））

驅(qū)動部

直線度（X軸）

正常使用下

0.2μm/100mm

當(dāng)伸出到zui大程度

0.4μm/100mm

測量速度

表面粗糙度測量

0.02,0.05,0.1,0.2mm/s(4-step)

輪廓測量

0.02,0.05,0.1,0.2，0.5,1.0,2.0mm/s(7級)

驅(qū)動速度

X軸（水平方向）

0 to 80mm/s 外加手動

Z2軸（垂直方向）

0 to 20mm/s 外加手動

上/下移動

300mm（電動）

傾角范圍

±45°

檢出器

檢出方式

差動感應(yīng)

測力

0.75mN

測針名稱

標準測針（用于粗糙度/輪廓測量）

針尖角度：60°圓錐，針尖半徑：2μm，金剛石針尖

圓錐形（用于輪廓測量）

針尖角度：30°圓錐，針尖半徑：25μm，藍寶石針尖

測針上/下運作

適用（可在半空停頓）