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srs PPR100 測試系統(tǒng)

PPR過程監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計用于在線過程監(jiān)測和診斷。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。PPR 真空過程監(jiān)測系統(tǒng)0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力3 × 10-5 Torr-L/s 流速2 秒響應(yīng)時間 （0.1 Torr）100、200 或 300 AMU 系統(tǒng)6 數(shù)量級動態(tài)范圍RGA Windows 軟件PPR 真空過程監(jiān)測系統(tǒng)PPR 過程監(jiān)測系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)測和診斷而設(shè)計。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微孔孔，設(shè)計用于在以下壓力之一下運行：0.01、0.1、1 或 10 Torr。它將樣品壓力降低到RGA的工作壓力（約10-6 Torr）。該壓降由泵送系統(tǒng)維持，泵送系統(tǒng)由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成。兩個泵都是無油的，不會污染您的過程。連接到工藝室的入口組件可以通過多種方式進行配置（見圖紙）。該系統(tǒng)包括RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵以及用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。該軟件用于在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是PPR系統(tǒng)的標準配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR系統(tǒng)在出廠時經(jīng)過組裝和校準，并準備連接到您的真空工藝室。PPR 真空過程監(jiān)控系統(tǒng)性能氣體流量 3 × 10-5 mbar-L/s，減壓入口激活響應(yīng)時間 2 秒，入口壓力為 0.1 mbar（隨壓力線性縮放）啟動時間 8 分鐘標稱連接入口 2.75“ CF 法蘭，可旋轉(zhuǎn)，帶通孔渦輪泵到控制器 6 英尺電纜（提供）渦輪增壓器到前級泵 6 英尺柔性軟管（提供），1/4" 內(nèi)徑 × 7/16“ OD計算機接口 RS-232C（28,800 波特， 9 針 D 連接器）軟件 RGA Windows 應(yīng)用程序

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深圳市美佳特科技有限公司（簡稱“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測試、通用電子測量及5G測試服務(wù)。美佳特以“無線溝通，溝通無極限 "企業(yè)使命，業(yè)務(wù)聚焦于精密測試測量儀器的租賃、銷售、維護、計量及測試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。N2843A Keysight 無源探頭 Keysight 是德

主營產(chǎn)品：示波器主機和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時域反射儀、可調(diào)諧激光源、光功率計、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛得萬、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。N2843A Keysight 無源探頭 Keysight 是德

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發(fā)生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號發(fā)生器,keysight E5071C 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

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