公司動態
SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列
閱讀:498 發布時間:2018-3-29SMC新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
SMC平行密封型門閥XGTP系列產品參數:長壽命:300萬次(常溫時)
低發塵:發塵量減少到1/5以下(與舊型號相比)
省氣:耗氣量減少22%
輕量:14kg(盒式)
工作窗尺寸:50mm X 336mm
平行密封構造
門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽命。
應用場合
半導體加工過程中,針對各工藝腔室之間的隔離。