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輸入電源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W 

樣品室

• 石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
• 帶有不銹鋼法蘭

襯底加熱器

• 載樣臺的尺寸為60 mm,可加熱到600度
• 一個30段可編程溫度控制器，控溫精度±1ºC
• 推薦升溫速率:15°C/m
• 樣品臺的高度可以調節
   

樣品臺                     溫控盒后視圖

真空配置

• 每個配件包含在內，可立即使用

• 儀器中配有一臺2L/S雙旋片機械泵，出氣口安裝有立式油污過濾器，過濾真空泵工作時產生的油煙，和減少泵油的損耗，保護環境和人體健康。
• 高純度金箔靶

進氣口

有一不銹鋼針閥安裝在儀器上，可以通入氬氣，能實現更好的等離子涂層

靶材

• 標配靶材
• 包含：4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm 
• 可選靶材：請點擊查看 Au, Ag or Pt tagets.                

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

運輸重量

160Lbs with crating

凈重

20 kg

質保期

一年質保期，終身維護

質量認證

  Certified