RoHS光譜儀是測試儀歐盟六項有害物質的設備，基本原理是XRF一RoHS1.0（六項重金屬有害物質）。具體檢測項目如下表：

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優點：

1、RoHS、無鹵標準:Pb鉛、Cd隔、Hg汞、PBBPBDE溴、 Cr鉻、Cl氯；

2、EN71標準: 八大重金屬-Pb鉛、Cd隔、Hg汞、Cr鉻、As砷、Se硒、Sb銻、Ba鋇；
3、EN71新標準；重金屬19項（測當中的15種元素）；
4、鍍層厚度：鍍銅、鎳、鉻、銀、金…………；
5、不銹鋼、銅合金成份分析：銅、鋅、鎳、鉛、錫、鐵、鉻、錳...。

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