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海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司

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海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司>>儀器>>通用儀器>> EMS300R T大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）
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EMS300R T大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）

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  • 海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
  • 2017-04-10 15:40:47
  • 北京市
  • 1423

我要詢價 具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡單介紹】

大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器），應(yīng)對大樣本的鍍膜儀器，腔室足夠大，達(dá)到203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空。

【詳細(xì)說明】

 

EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）Large Chamber Sputter Coaters 
 

    大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發(fā)射掃描電鏡）、TEM（透射電鏡）。EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大，達(dá)到203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空；此外，它配備三個獨立的濺射頭，確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T） 。

特征參數(shù)：

    1、 可以進(jìn)行超大樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜

    2、 三個濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量

    3、 單靶材選擇功能，可以進(jìn)行小樣本鍍膜

    4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選

    5、 選擇裝配膜厚監(jiān)測儀可以精確控制膜厚

    6、 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便

    7、 可以儲存不同用戶的程序

    8、 能夠記錄100個鍍膜細(xì)節(jié)

    9、 真空自動控制，且具有真空保持功能

    10、 落入式樣品臺拆裝方便（標(biāo)配是旋轉(zhuǎn)樣品臺）

    11、 zui長60分鐘不間斷鍍膜能力

    12、 符合人體工程學(xué)的整體注塑機(jī)身

    13、 電氣符合CE要求

    14、 三年質(zhì)保

樣品臺

    EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設(shè)計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)實現(xiàn)可調(diào)。

  • 扁平樣品臺，用于晶圓的鍍膜（152mm-203mm），標(biāo)配
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺，50mm，不能傾斜
  • 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，50mm，高度可調(diào)（靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)），傾斜角度在0-30度之間
  • 用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺

加高腔室：需要時可以得到（付費）

儀器參數(shù)：

儀器外形尺寸

585mm W x 470mm D x 410mm H

（total height with coating head open: 650mm）

重量

36.4kg

包裝尺寸

725mm W x 660mm D x 680mm H （44.8kg）

工作腔室

高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H

安全保護(hù)

整體PET套筒

顯示

145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯

使用者界面

直觀的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護(hù)提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄

濺射靶材

標(biāo)配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶 （SC502-314A）

 

真空

旋轉(zhuǎn)真空泵

50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter.

Order separay, 91005.

真空監(jiān)測

皮拉尼測量

極限真空度

潔凈系統(tǒng)可達(dá) 2x10-2 mbar，充氮氣

樣品臺

標(biāo)配晶圓樣品臺，152mm-203mm，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。

 

濺射

根據(jù)鍍膜厚度或內(nèi)置的計時器，濺射電流范圍在0-80mA ，zui長濺射時間不超過60分鐘

 

其它重要信息

需要氣體

氬氣 99.999%，氮氣可選（排氣時需要）

電源

90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power.

（注意電壓的選擇）

電氣標(biāo)準(zhǔn)

符合電氣CE認(rèn)證要求

 

訂購信息：

產(chǎn)品貨號

產(chǎn)品

產(chǎn)品規(guī)格

EMS300R T

EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀

Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater,

fitted with three sputtering heads to ensure

even metaldeposition. Include three

57mm Ø x 0.3mm gold （Au） sputter targets.

A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm

wafers is fitted as standard

EACH

91005

愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵（單獨購買）Edwards RV5 90L/s two-stage

rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and

oil mist filter

EACH

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