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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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甩膠機(英文名：Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜 型號WS-650Mz-23NPPB (美國NIST*工業標準認證） 1、產品概述： 2、甩膠機工作原理： |
三、勻膠機性能指標及特點：
1、該甩膠機采用美國*技術：
2、Laurell甩膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計，這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方；
3、甩膠機真空Chuck經精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、智能型調節勻膠工作時間，1秒至99分59.9秒任意范圍，zui小時間增加精度0.1秒；
5、650S 型甩膠機大致有兩個轉速范圍，主軸轉速范圍寬，加速度高。*階段，通過500~1000RPM的轉速，旋轉5~10秒鐘，使膠液得以平鋪開，而膠液厚度主要通過第二階段的速度變化來控制，一般轉速在1500RPM~6000RPM，旋轉時長從幾秒鐘到幾分鐘，如此既可以得到幾百個納米到數十個微米之間的均勻薄膜，也是可以無極變速的。根據旋涂的需要設定不同的轉速，對不同的材料進行均勻的涂膜。
6、高精度數碼控制器，美國Laurell甩膠機的數碼速度控制器采用的是一個高計數位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器，其設置點精度小于0.006%。通過PLC控制系統，運行干擾小，可靠性高。人機交互按鍵顯示操作，界面友好，更直觀便捷，用戶可靈活編制、儲存、調用和修改工藝參數。甩膠機可以設定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程，每個程序段都能設定51步速度改變，當前參數具斷電保護功能。650S系列，除了對于轉速的精密控制以外（轉速范圍1~12000轉/分，分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，加速度可達80000RPM/S，zui低則可達1RPM/S）。MSC-650S型可以通過USB通訊接口連接電腦，以及隨機附帶的SPIN3000分析軟件進行功能多樣的可視化操作。對于每次實驗結果進行分析調試，并挑選出*的制備過程，所有數據結果都可以通過電腦輸出并予以保存，完成從單純旋轉機器到旋涂儀器的升級。
7、高精度甩膠機加速度和速度的穩定性：標準速度范圍100-12,000 轉/分鐘（RPM）[分辨率：<0.5 轉/分鐘（RPM）可重復性：±0.5 轉/分鐘，經美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！]
8、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過調節轉速調節涂覆厚度。
9、甩膠機腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節流閥實現調節，與配套真空泵一同使用。
