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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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其中，NXQ4000系列光刻機是半自動系統為主，NXQ8000系列光刻機則是全自動系統為主，而Refurbished Mask Aligners則是手動/自動系統。以下是關于NXQ8000系列光刻機的介紹:
應用領域：
◆ LED
◆ MEMS
◆ IC
◆ Mircro-optics
主要特點：
◆ 接近/軟（硬）接觸/真空接觸曝光；
◆ 支持2”~8”晶圓，支持碎片對準；
◆ 自動/手動運行模式；
◆ 光學背面對準系統（OBS）；
◆ 紅外背面對準系統（IR）；
◆ 高精度光學式或CCD式正面對準系統；
◆ 自動對準識別系統（使用任意標記）；
◆ 工藝操作程序網絡化設置與管理；
◆ 自動預對準（用于晶圓自動裝載型）；
◆ 快速方便地更換適用不同尺寸的晶圓夾具（2”~8”）；
◆ XP 操作界面;
◆ 支持200W ~ 2kW, NUV，UV or DUV;
◆ 高靈敏度光強可控電源。
需要更詳細的NXQ8000系列全自動光刻機產品資料，
請與邁可諾技術有限公司中國營銷服務中心區域辦公室!
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