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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| MYCRO的SCE-110系列感應耦合（ICP）等離子體系統是用于等離子體灰化工藝的zui有效儀器。SCE-110等離子灰化機用于殘留無機物的掃描電鏡（SEM）和或化學分析之前的有機物去除。適用設備如：SCE-104, 106, 108。 SCE-110電感耦合等離子刻蝕機參數： 控制系統 • 觸摸屏界面； • 電源、真空、流量及時間的數碼顯示； • 氣體流量控制器（2） 500-sccm； • 多菜單-工藝程序； • 密碼保護 • 真空系統和電源安全連鎖裝置； • 120-VAC, 50/60-Hz, 20-Amp 控制系統選配件 • 多路處理氣體通道（多達3路）； • 電容壓力計； • 溫度感應器； • 節流閥； • 氮氣回填； RF射頻電源 • 0-600 Watt, 13.56 MHz • 正向（傳輸）和反射功率讀數； • 3%功率調節； • 自動射頻調配負載匹配； 石英反應艙 • 10英寸直徑，深18英寸； • 前端裝載式放樣； • 觀測門裝配觀測口，防止紫外輻射； 反應平面電極 • 石英托盤或軌道，（達3個托盤） 尺寸 • 系統包括一個標準的19英寸半支架； • 36"H x 21"W x 30"D 需要更詳細的ICP電感耦合等離子刻蝕機的信息 請與邁可諾技術有限公司 中國營銷服務中心 ： （北京）（上海） （廣州）（武漢） : Website: http://www.mycrohk。。ｃｏｍ |
