TC-Wafer校準(zhǔn)儀，是一款專注晶圓溫場(chǎng)均勻性測(cè)量的儀器。
適配市場(chǎng)上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。
特殊情況可定制以適配。
產(chǎn)品特點(diǎn)（部分）
1.測(cè)溫準(zhǔn)確 溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測(cè)量晶圓溫廠均勻性；
2.使用便捷 儀器集成度高，即插即用。測(cè)試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，
支持U盤、藍(lán)牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報(bào)告；
3.顯示直觀 最多支持20路實(shí)時(shí)測(cè)量(20路以上可定制)，顯示實(shí)時(shí)點(diǎn)位圖及溫度分布圖，
可在使用過程中實(shí)時(shí)觀察各點(diǎn)溫度變化；
4.功能強(qiáng)大 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。
可做同一臺(tái)設(shè)備不同時(shí)間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對(duì)比；
5.便攜易維護(hù) 便攜一體化設(shè)計(jì)，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口
65W速充，可迅速更換TC- wafer。
TC-Wafer校準(zhǔn)儀應(yīng)用功能：
1.半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校
2.RTP設(shè)備的測(cè)試、驗(yàn)證
3.TC-Wafer的測(cè)試、驗(yàn)證
4.相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設(shè) 備 的 測(cè) 試 、 驗(yàn) 證 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;
5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)
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