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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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技術數據
2.6 升的 Low Cost 等離子體實驗室設備 ZEPTO 配有手動型 和 Basic PC 控制系統，主要用于以下領域:
小批量生產, 分析 (REM, TEM), 醫療技術, 滅菌, 研究和開發部門, 考古, 紡織技術, 塑料技術
1.基本裝備：
根據組件/選裝件，外殼規格會有所不同
腔室容積：根據具體版本 1.7 - 2.6 升
供電電源：230 V
2.氣體供給：針型閥、質量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
帶蓋圓形硼硅玻璃 (UHP)（大約 ∅ 105 mm，長 200 mm 或長 300 mm）
W6（約 ∅ 160 mm，長 180mm）
4.裝載件
產品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃
5.電極：
單層或多層
真空腔室外部的一對電極
6.控制系統：手動、Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)
7.壓力測量：Pirani
8.計時器：數字 、模擬
9.發生器：
頻率：
40 kHz：功率 0 - 100 W
13.56 MHz：功率 0 - 200 W
