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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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光刻機(jī)分為半自動(dòng)和全自動(dòng)兩大系列。MEMA-800是研發(fā)中心和大學(xué)中的微機(jī)開發(fā)。操縱器，壓力傳感器，加速度傳感器，功率設(shè)備等。倒裝芯片/BGA/CSP的暴露。暴露于光學(xué)/高速通信組件中。
二、技術(shù)參數(shù)：
1、目標(biāo)分離：15?75毫米；
2、總放大倍率：100倍；
3、觀察照明器：紅色LED（λ= 633 nm）；
4、X，Y平臺(tái)移動(dòng)范圍：±5毫米；
5、θ調(diào)整：±5°
6、主體電源和水銀燈：交流100V 50 / 60Hz 15A
7、真空源：低于21.3 Kpa（大氣壓為-80 Kpa）
8、鏡片：積分鏡
9、汞燈：250W超高壓蒸汽汞燈
10、有效接觸面積：大φ100毫米
11、強(qiáng)度分布：±5％以下
12、照度：20 mW / cm 2 （405納米）
13、曝光時(shí)間控制：數(shù)字計(jì)時(shí)器和旋轉(zhuǎn)螺線管
14、汞燈照明裝置：交流110V
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
經(jīng)濟(jì)，緊湊和高級(jí)性能
在視場(chǎng)中查看兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的融合圖像。
用于曝光的積分鏡。
LED照明器
