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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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美國臨界點干燥儀Automegasamdri®-915B，系列B
特點：
6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀；
潔凈室和防靜電兼容設計；
通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性；
所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮；
可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性；
每個操作模式LED顯示，一目了然;
集成自動控溫；
內置圓盤裂片保證安全；
可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；
靜態壓力控制模塊，自動控制系統壓力和保持壓力穩定性；
0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；
內腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內部狀態；
擁有高效隔熱的冷卻系統，使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C；
標配SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準；
美國臨界點干燥儀規格：
外部尺寸：寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm)；
占地尺寸：寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm)；
樣品室尺寸：內徑6.50” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;
溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；
LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制；
120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
標準配件：
高壓不銹鋼LCO2管（內襯Teflon） 3 米長；
外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預先與LCO2管連接，安裝方便；
SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳，降低排氣噪音；
防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣；
內部的不銹鋼過濾系統和鍍鎳的過濾系統共同保護線路、晶片和閥門
樣品室O型圈3個，樣品室照明燈2個，5A保險絲2個；
4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;
直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容；
流量計，可精確控制BLEED的排氣速率；
用戶手冊；
所有部件一年質保。
