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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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M6 Spin Coater可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片，使用無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)馬達(dá)控制，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。M6 Spin Coater外形美觀，結(jié)構(gòu)緊湊，專為實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價(jià)比高的勻膠涂覆設(shè)備。M6 Spin Coater在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 馬達(dá)控制 無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)；
• 智能程控 控制器可拆卸，4.3寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，選中功能有顏色區(qū)分，適用于手套箱；
• 腔體材質(zhì) 易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性；
• 模式切換 可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖；
• 水平調(diào)節(jié) 設(shè)備墊腳可調(diào)節(jié)水平；
• 防止堵膠 雙真空腔設(shè)計(jì)；
• 預(yù)留端口 可升級(jí)擴(kuò)展其他多種選配項(xiàng)；
• 密碼功能 設(shè)有開機(jī)密碼和管理員密碼，管理員有權(quán)限修改核心參數(shù)；
• 安全報(bào)警 系統(tǒng)蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統(tǒng)進(jìn)膠、馬達(dá)轉(zhuǎn)速異常均會(huì)報(bào)警，通過聲音和界面對(duì)話框提示；
• 氣流保護(hù) 旋涂過程中對(duì)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)（也可選擇取消），易維護(hù)，易清潔，大幅提高馬達(dá)使用壽命；
應(yīng)用領(lǐng)域：
• 半導(dǎo)體芯片制造
• 鈣鈦礦太陽能電池
• 微流控芯片
• MEMS微納器件
• 高分子材料
• 有機(jī)光伏
• 有機(jī)發(fā)光二極管
• 有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管
• 石墨烯&二維材料
處理腔體：
• 處理腔體內(nèi)徑不小于8.7英寸 (220毫米)；
• Wafer芯片尺寸小標(biāo)配為10 mm，可選配到3mm或5mm；大到6英寸（150mm）直徑圓片或5x5英寸（125mm）邊長(zhǎng)方片直徑的材料，簡(jiǎn)單可靠的載物盤更換設(shè)計(jì)；
