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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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薄膜厚度監(jiān)視器
一種緊湊，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)視器，可與瓊脂系列涂層單元配合使用。
這是一款緊湊型，低成本，基于微處理器的薄膜厚度監(jiān)測儀，適用于瓊脂系列涂層裝置。初設(shè)計用于電子顯微鏡應(yīng)用，它也適用于復(fù)雜的沉積系統(tǒng)。雙存儲器存儲兩種沉積材料的參數(shù)。該系統(tǒng)使用安裝在晶體支架中的6MHz石英晶體振蕩器?？刂茊卧哂袛?shù)字讀數(shù)，顯示直接以納米為單位的涂層厚度，分辨率為0.1nm。還可以輸入加工因子以補(bǔ)償樣品和晶體位置的差異。膜厚監(jiān)測儀的測量范圍為0至999.9nm，并具有晶體壽命。
升級套件允許在兩個瓊脂涂層機(jī)之間共享一個控制單元。
