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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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確保厚度控制的經濟方法
如果不是不可能的話，在沉積期間精確地手動控制膜厚度是困難的。有時使用帶有一滴油的白色瓷磚來粗略估計碳的涂層厚度，但是當需要重復的，可再現的涂層時不能使用。使用儀器設置也不是一種準確的方法，因為真空水平（用于濺射）和時間（用于蒸發）是非常關鍵的參數。高分辨率厚度監視器提供涂層厚度的可重復性，消除猜測并且方便。使用加工因子可以精確測量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度監測儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統。
系統包括：
MTM-10控制器盒
BNC電纜/ BNC彎頭
振蕩器盒
CS-108真空饋通，帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈
水晶支架電纜7“/ 108mm
水晶支架，M4螺釘尺寸ø19x20mm高。水晶面積ø6mm
MTM-20高分辨率厚度控制器專為Cressington濺射涂布機系統設計，與108auto，108auto / SE和208HR濺射涂布機系統*兼容。
| MTM-10高分辨率厚度監視器和 MTM-20高分辨率厚度監視器規格 | |
| 一般規格： | 基于微處理器的4位數顯示，按鈕為零 6MHz晶振，帶有壽命檢查 每秒5次更新率 |
| 厚度范圍： | 0 999.9nm（POS / NEG） |
| 解析度： | 0.1nm用于金或碳 |
| 密度范圍： | 30.00g / CC 0.50 |
| 工具系數范圍： | 0.25 - 8.0 |
| 真空饋通： | CS 108；直徑10mm，板材/法蘭厚度為9mm。 |
| 水晶架： | 不銹鋼ø19x20mm。M4螺紋孔，用于安裝，1/2“尺寸的晶體 |
| 水晶架電纜： | Mini-SMB，母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置 |
| 處理器功能： | 對于MTM-10和MTM20，四組值可以存儲在密度下的存儲器中，四組可以存儲在工具下 |
| MTM-20控制器： | *MTM-20：可編程厚度端接功能，帶終端接口電纜，108自動，208HR和DC-100 終端設備范圍為0-999.9nm |
| MTM-10/20盒尺寸 | 210 x 160 x 77毫米（8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸） |
