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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | ￥ 120000 |
| 訂貨量 | 1臺 |
更新時(shí)間：2024-05-17 14:16:31瀏覽次數(shù)：3175
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 腔體材質(zhì) | 鋁合金 | 射頻電源功率 | 0-150W 可調(diào) |
| 射頻頻率 | 40KHz | 真空度 | ≤100Pa |
| 氣體路數(shù) | 雙路 |
射頻真空等離子表面處理系統(tǒng)
等離子清洗機(jī)是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過程不會產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。
射頻真空等離子表面處理系統(tǒng) 特點(diǎn)：
u 滿足8寸以下基片使用，適用性廣
u 無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗、機(jī)臺本身不產(chǎn)生污染物
u 高效清洗，快遞達(dá)成需要的表面親水性
應(yīng)用廣泛，且對處理產(chǎn)品無損傷，不改變材料特性
