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杭州太昊科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第15年

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PEG100-潘寧規(guī)/冷陰極規(guī)/冷電離規(guī)PEG100
  • PEG100-潘寧規(guī)/冷陰極規(guī)/冷電離規(guī)PEG100
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更新時(shí)間:2024-11-12 14:12:33

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INFICON PEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測(cè)量。無(wú)高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低,潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。在總線的選擇方面,除了對(duì)數(shù)的模擬輸出信號(hào)輸出外還有便于集成到真空系統(tǒng)的Profibus DP或DeviceNet協(xié)議輸出。

潘寧規(guī)/冷陰極規(guī)/冷電離規(guī)PEG100的優(yōu)點(diǎn)

測(cè)量范圍廣:5 X 10 -91 X 10 -2 Mbar
全金屬冷陰極陶瓷傳感器
新型幾何電極提供了*的點(diǎn)火性能
降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過(guò)程中也一樣
陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可清洗,更換容易
zui小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量
■ LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信

 

 

 

 

 

 

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