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PPG550 ATM 至中真空計(jì)
新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計(jì) (PPG550) 基于**的 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器技術(shù)。
在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)可以構(gòu)建一個(gè)非常小的傳感器,從而節(jié)省空間,這使得測(cè)量設(shè)備的整體高度非常小成為可能。
除了高度低的優(yōu)勢(shì)外,基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準(zhǔn)地測(cè)量的優(yōu)勢(shì)。結(jié)合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器,皮拉尼真空計(jì)成為真正的真空寬量程計(jì),將測(cè)量范圍擴(kuò)展到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)通常的1000 mbar,也朝向大氣。同時(shí),MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是增加了對(duì)加速力和振動(dòng)的抵抗力。
*后但并非*不重要的一點(diǎn)是,新型 INFICON PPG550 可用于直接插入,取代所謂的 MKS910“雙傳™微型皮拉尼 - 絕 對(duì)壓電真空壓力傳感器"以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空壓力傳感器"。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性。
8,合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn):CE,EN,UL,CSA,RoHS
PPG550 ATM 至中真空計(jì)
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