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 ATOS阿托斯油缸在電液脈沖伺服油缸是由步進(jìn)電機(jī)、三位四通伺服閥、機(jī)械反饋裝置（絲扛副）和油杠組成。當(dāng)步進(jìn)電機(jī)得到一個(gè)脈沖信號時(shí)其輸出軸旋轉(zhuǎn)1.5或3度角度，伺服閥閥芯帶動(dòng)絲扛同時(shí)旋轉(zhuǎn)，閥芯移動(dòng)并開口換向油缸輸出壓力油，活塞移動(dòng)并帶動(dòng)絲杠反向旋轉(zhuǎn)使閥芯退回原位，伺服閥復(fù)中位停止輸出壓力油。此時(shí)油缸移動(dòng)0.1或0.2mm行程，油缸行進(jìn)的位移量和速度是根據(jù)電脈沖的給定值決定。
電液伺服閥既是電液轉(zhuǎn)換元件，又是功率放大元件，它能夠把微小的電氣信號轉(zhuǎn)換成大功率的液壓能（流量和壓力）輸出。它的性能的優(yōu)劣對系統(tǒng)的影響很大。因此，它是電液控制系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵。為了能夠正確設(shè)計(jì)和使用電液控制系統(tǒng)，必須掌握不同類型和性能的電液伺服閥。 
伺服閥輸入信號是由電氣元件來完成的。電氣元件在傳輸、運(yùn)算和參量的轉(zhuǎn)換等方面既快速又簡便，而且可以把各種物理量轉(zhuǎn)換成為電量。所以在自動(dòng)控制系統(tǒng)中廣泛使用電氣裝置作為電信號的比較、放大、反饋檢測等元件；而液壓元件具有體積小，結(jié)構(gòu)緊湊、功率放大倍率高，線性度好，死區(qū)小，靈敏度高，動(dòng)態(tài)性能好，響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，可作為電液轉(zhuǎn)換功率放大的元件。因此，在一控制系統(tǒng)中常以電氣為“神經(jīng)”，以機(jī)械為“骨架”，以液壓控制為“肌肉”zui大限度地發(fā)揮機(jī)電、液的長處。    
典型電---氣比例閥、伺服閥的工作原理意大利ATOS伺服油缸，ATOS伺服油缸，ATOS阿托斯油缸

    電---氣比例閥和伺服閥按其功能可分為壓力式和流量式兩種。壓力式比例/伺服閥將輸給的電信號線性地轉(zhuǎn)換為氣體壓力；流量式比例/伺服閥將輸給的電信號轉(zhuǎn)換為氣體流量。由于氣體的可壓縮性，使氣缸或氣馬達(dá)等執(zhí)行元件的運(yùn)動(dòng)速度不僅取決于氣體流量。還取決于執(zhí)行元件的負(fù)載大小。因此精確地控制氣體流量往往是不必要的。單純的壓力式或流量式比例/伺服閥應(yīng)用不多，往往是壓力和流量結(jié)合在一起應(yīng)用更為廣泛。
    電---氣比例閥和伺服閥主要由電---機(jī)械轉(zhuǎn)換器和氣動(dòng)放大器組成。但隨著近年來廉價(jià)的電子集成電路和各種檢測器件的大量出現(xiàn)，在1電---氣比例/伺服閥中越來越多地采用了電反饋方法，這也大大提高了比例/伺服閥的性能。電---氣比例/伺服閥可采用的反饋控制方式，閥內(nèi)就增加了位移或壓力檢測器件，有的還集成有控制放大器。
一、    滑閥式電---氣方向比例閥
流量式四通或五通比例控制閥可以控制氣動(dòng)執(zhí)行元件在兩個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)速度，這類閥也稱方向比例閥。圖示即為這類閥的結(jié)構(gòu)原理圖。它由直流比例電磁鐵1、閥芯2、閥套3、閥體4、位移傳感器5和控制放大器6等贊成。位移傳感器采用電感式原理，它的作用是將比例電磁鐵的銜鐵位移線性地轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。控制放大器的主要作用是：
1）    將位移傳感器的輸出信號進(jìn)行放大；意大利ATOS伺服油缸，ATOS伺服油缸，ATOS阿托斯油缸

2）    比較指令信號Ue和位移反饋信號Uf，得到兩者的差植  U；
3）    將 U放大，轉(zhuǎn)換為電流信號I輸出。此外，為了改善比例閥的性能，控制放大器還含有對反饋信號Uf和電壓差 U的處理環(huán)節(jié)。比如狀態(tài)反饋控制和PID調(diào)節(jié)等。
帶位置反饋的滑閥式方向比例閥，其工作原理是：在初始狀態(tài)，控制放大器的指令信號UF=0，閥芯處于零位，此時(shí)氣源口P與A、B兩端輸出口同時(shí)被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無流量輸出；同時(shí)位移傳感器的反饋電壓Uf=0。若閥芯受到某種干擾而偏離調(diào)定的零位時(shí)，位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的  U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵，電磁鐵產(chǎn)生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差  U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推動(dòng)閥芯右移。而閥芯的右移又引起反饋電壓Uf的增大，直至Uf與指令電壓Ue基本相等，閥芯達(dá)到力平衡。此時(shí)。
 Ue=Uf=KfX（Kf為位移傳感器增益）
上式表明閥芯位移X與輸入信號Ue成正比。若指令電壓信號Ue<0，通過上式類似的反饋調(diào)節(jié)過程，使閥芯左移一定距離。
閥芯右移時(shí)，氣源口P與A口連通，B口與排氣口連通；閥芯左移時(shí)，P與B連通，A與排氣口連通。節(jié)流口開口量隨閥芯位移的增大而增大。上述的工作原理說明帶位移反饋的方向比例閥節(jié)流口開口量與氣流方向均受輸入電壓Ue的線性控制。
這類閥的優(yōu)點(diǎn)是線性度好，滯回小，動(dòng)態(tài)性能高。
所示為一種動(dòng)圈式二級方向伺服閥。它主要由動(dòng)圈式力馬達(dá)、噴嘴擋板式氣動(dòng)放大器、滑閥式氣動(dòng)放大器、反饋彈簧等組成。噴嘴檔板氣動(dòng)放大器做前置級，滑閥式氣動(dòng)放大器做功率級。
這種二級方向伺服閥的工作原理是：在初始狀態(tài)，左右兩動(dòng)圈式力馬達(dá)均無電流輸入，也無力輸出。在噴嘴氣流作用下，兩擋板使可變節(jié)流器處于全開狀態(tài)，容腔3、7內(nèi)壓力幾乎與大氣壓相同。滑閥閥芯被裝在兩側(cè)的反饋彈簧5、6推在中位，兩輸出口A、B與氣源口P和排氣口O均被隔開。
當(dāng)某個(gè)動(dòng)圈式馬達(dá)有電流輸入是（例如右側(cè)力馬達(dá)），輸出與電流I成正比的推力Fm將擋板推向噴嘴，使可變節(jié)流器的流通面積減小，容腔6內(nèi)的氣壓P6升高，升高后的P6又通過噴嘴對檔板產(chǎn)生反推力Ff。當(dāng)Ff與Fm平衡時(shí)，P6趨于穩(wěn)定，其穩(wěn)定值乘以噴嘴面積Ay等于電磁力。另一方面，P6升高使閥芯兩側(cè)產(chǎn)生壓力差，該壓力差作用于閥芯斷面使閥芯克服反饋彈簧力左移，并使左邊反饋彈簧的壓縮量增加，產(chǎn)生附加的彈簧力Fs，方向向右，大小與閥芯位移X成正比。當(dāng)閥芯移動(dòng)到一定位置時(shí)，彈簧附加作用力與7、3容腔的壓差對閥芯的作用力達(dá)到平衡，閥芯不在移動(dòng)。此時(shí)同時(shí)存在閥芯和擋板的受力平衡方程式：意大利ATOS伺服油缸，ATOS伺服油缸，ATOS阿托斯油缸

      Fs=KsX=（P6-P5）Ax
      Ff=P6Ay=KiI
式中  KS----反饋彈簧剛度
      Ax----閥芯斷面積
      Kf----動(dòng)圈式力馬達(dá)的電流增益。
在上述的調(diào)節(jié)過程中，左側(cè)的噴嘴擋板始終處于全開狀態(tài)，可以認(rèn)為P5=0，代入后整理上述兩式可得
閥芯位移與輸入電流成正比。當(dāng)另一側(cè)動(dòng)圈式馬達(dá)有輸入時(shí)，通過上述類似的調(diào)節(jié)過程，閥芯將向相反方向移動(dòng)一定距離。
當(dāng)閥芯左移時(shí)，氣源口P與輸出口A連通，B口通大氣；閥芯右移時(shí)，P與B通，A口通大氣。閥芯位移量越大，閥口開口量也越大。這樣就實(shí)現(xiàn)了對氣流的流動(dòng)方向和流量的控制。
這類閥采用動(dòng)圈式馬達(dá)，動(dòng)態(tài)性能好，缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。
圖示是一種壓力伺服閥，其功能是將電信號成比例地轉(zhuǎn)換為氣體壓力輸出。主要組成部分有：動(dòng)圈式力馬達(dá)1、噴嘴2、擋板3、固定節(jié)流口4、閥芯5、閥體6、復(fù)位彈簧7、租尼孔8等。
初始狀態(tài)時(shí)，力馬達(dá)無電流輸入，噴嘴與擋板處在全開位置，控制腔內(nèi)的壓力與大氣壓幾乎相等。滑閥閥芯在復(fù)位彈簧推力的作用下處在右位，這時(shí)輸出口A與排氣口通，與氣源口P斷開。當(dāng)力馬達(dá)有電流I輸入時(shí)，力馬達(dá)產(chǎn)生推力Fm（=KiI），將擋板推向噴嘴，控制腔內(nèi)的氣壓P9升高。P9的升高使擋板產(chǎn)生反推力，直至與電磁力Fm相平衡時(shí)P9才穩(wěn)定，這時(shí)
        Fm=Iki=P9Ay+Yksy
式中  Ay----噴嘴噴口面積；
      Y----擋板位移；
      Ksy----力馬達(dá)復(fù)位彈簧剛度。
另一方面，P9升高使閥芯左依，打開A口與P口，A口的輸出壓力P10升高，而P10經(jīng)過阻尼孔8被引到閥芯左腔，該腔內(nèi)的壓力P11也隨之升高。P11作用于閥芯左端面阻止閥芯移動(dòng)，直至閥芯受力平衡，這時(shí)意大利ATOS伺服油缸，ATOS伺服油缸，ATOS阿托斯油缸