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這款射頻等離子體發生器是進口射頻等離子體放大器,提供13.56MHz,120W的射頻等離子體發射,非常適合工業,科研和醫學應用。可提供射頻等離子發射功率有300W, 600W,1000W,1200W, 2400W.
射頻等離子體發生器規格參數
可與任何調諧器配合使用，但T&C的AIT-600調諧器系列（如左圖所示）的操作是優化的
通過以下方式*控制發電機和AIT-600調諧器
前面板或PC（GUI軟件）
接口：模擬/數字、RS-232、RS-422
數字顯示：正向/反射/負載功率，
內部溫度、調諧器蓋位置
數據采集：功率測量和狀態
模擬接口監控
操作：AGC功率均衡，低諧波
電平、脈沖操作、斜坡曲線
5.25英寸高x 8.75英寸寬x 15.00英寸長
射頻等離子體發生器訂購信息
訂購代碼：AG 0113 (前部面板控制)
                0113 (帶空白前面板的等離子體發生器模塊）
                AG 0113 & AIT-600 Tuner (萬全的 RF 系統)
                [Rear panel] RF Input / Blanking ports OR CEX In / Out ports
射頻等離子體發生器規格參數
操作等級：C級
工作頻率：13.56MHz
頻率穩定性：0.005%或更好
RF功率輸出：120W @50歐姆負載
EXT RF輸入驅動：0-3 dBm 最佳操作
輸入驅動源用于外部RF輸入：單個或函數發生器,2Vp-p @50歐姆@模擬計算機輸入
CEX輸入：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
CEX輸出：3Vp-p ~8Vp-p  @13.56MHz
內部RF源： 晶體震蕩器@13.56MHz
輸入輸出阻抗：50Ohm
IN/OUT VSWR: 1.2: :1 max-input,   3:1 max-output
輸出VDWER保護：50W最大反射功率保護極限（0.1ms 自動限制）
諧波水平@100W：>=-50dBc
RF輸出穩定性： 10:1 VSWR
動態功率范圍：1-120W
脈沖工作：脈寬1ms~9995ms