目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>激光光學類>>激光配件系列>> FPSTA-Extra-UV Mirrors同步輻射反射鏡,極紫外反射jing
| 供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 電子,電氣 |
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同步輻射反射鏡是專業為同步輻射應用設計的同步輻射鏡和極紫外反射鏡。
同步輻射和極紫外光學是當今科學和工業的jian duan技術,由于涉及到超級小的波長和超高真空腔體,同步輻射設備儀器往往涉及原子尺寸的研究,因為,對于同步輻射反射鏡的要求很高。
同步輻射反射鏡采用表面誤差定義掠入射光學性能,定義實際鏡片與理想鏡片表面的最大PV偏離和和平均RMS偏離。由于聚焦光學鏡片質量和掠入射光學鏡片質量由鏡片斜分布決定,通常采用RMS誤差斜率定義鏡片表面精度。通常誤差斜率范圍從0.5arcsec/rms(平面）到1arcsec/rms(球面）。
同步輻射反射鏡表面結構
平面-可獲得誤差斜率
球面和柱面-較好的斜率誤差
環面,橢圓/拋物線圓柱,橢圓環面-一般的誤差斜率
橢球(旋轉),拋物面,雙曲面,自由曲面-一般的誤差斜率
同步輻射反射鏡鏡片材質
低同步輻射通量：微晶玻璃,Sitall CO-115M,熔融石英FS, 零膨脹玻璃ULE,光學玻璃（派萊克斯玻璃，BK7)
高同步輻射通量：單晶硅,碳化硅CVD,銅化學鍍鎳，鋁化學鍍鎳
同步輻射反射鏡鏡片鍍膜
同步輻射反射鏡鏡片鍍膜材料通常有Au, Pt, Rh, Ni, Pd, Al, Si, C, Ru, SiO2, Al/MgF
| Platinum | Gold Standard EUV (Au_40 nm / Cr_binder) | Nickel |
| R~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm | R ~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm | R~ 60 - 68 % @ 200 nm - 120 nm |
| R~ 60 - 69 % @ 65 nm - 27 nm | R ~ 55 - 65 % @ 65 nm - 25 nm | R~ 56 - 60 % @ 120 nm - 40 nm |
| R~ 55 - 60 % @ 27 nm - 22 nm | R~ 60 - 70 % @ 41 nm - 30 nm | |
| R ~ 60 - 65 % @ 22 nm - 12 nm | R~ 61 - 70 % @ 25 nm - 15 nm | R~ 30 - 60 % @ 30 nm - 20 nm |
| R ~ 50 - 55 % @ 12 nm - 10 nm | R~ 70 - 71 % @ 15 nm - 9 nm | R ~ 30 - 40 % @ 20 nm - 16 nm |
圖示：膜厚度在1埃時的反射率和能量帶寬,特定入射角的Au, Be and C鍍膜高能截止曲線.
同步輻射反射鏡是專業為同步輻射應用設計的同步輻射鏡和極紫外反射鏡。
同步輻射和極紫外光學是當今科學和工業的jian duan技術,由于涉及到超級小的波長和超高真空腔體,同步輻射設備儀器往往涉及原子尺寸的研究,因為,對于同步輻射反射鏡的要求很高。
同步輻射反射鏡采用表面誤差定義掠入射光學性能,定義實際鏡片與理想鏡片表面的最大PV偏離和和平均RMS偏離。由于聚焦光學鏡片質量和掠入射光學鏡片質量由鏡片斜分布決定,通常采用RMS誤差斜率定義鏡片表面精度。通常誤差斜率范圍從0.5arcsec/rms(平面）到1arcsec/rms(球面）。
同步輻射反射鏡表面結構
平面-可獲得誤差斜率
球面和柱面-較好的斜率誤差
環面,橢圓/拋物線圓柱,橢圓環面-一般的誤差斜率
橢球(旋轉),拋物面,雙曲面,自由曲面-一般的誤差斜率
同步輻射反射鏡鏡片材質
低同步輻射通量：微晶玻璃,Sitall CO-115M,熔融石英FS, 零膨脹玻璃ULE,光學玻璃（派萊克斯玻璃，BK7)
高同步輻射通量：單晶硅,碳化硅CVD,銅化學鍍鎳，鋁化學鍍鎳
同步輻射反射鏡鏡片鍍膜
同步輻射反射鏡鏡片鍍膜材料通常有Au, Pt, Rh, Ni, Pd, Al, Si, C, Ru, SiO2, Al/MgF
| Platinum | Gold Standard EUV (Au_40 nm / Cr_binder) | Nickel |
| R~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm | R ~ 55 - 58 % @ 200 nm - 65 nm | R~ 60 - 68 % @ 200 nm - 120 nm |
| R~ 60 - 69 % @ 65 nm - 27 nm | R ~ 55 - 65 % @ 65 nm - 25 nm | R~ 56 - 60 % @ 120 nm - 40 nm |
| R~ 55 - 60 % @ 27 nm - 22 nm | R~ 60 - 70 % @ 41 nm - 30 nm | |
| R ~ 60 - 65 % @ 22 nm - 12 nm | R~ 61 - 70 % @ 25 nm - 15 nm | R~ 30 - 60 % @ 30 nm - 20 nm |
| R ~ 50 - 55 % @ 12 nm - 10 nm | R~ 70 - 71 % @ 15 nm - 9 nm | R ~ 30 - 40 % @ 20 nm - 16 nm |
圖示：膜厚度在1埃時的反射率和能量帶寬,特定入射角的Au, Be and C鍍膜高能截止曲線.
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