目錄:孚光精儀（中國）有限公司>> FPGAM-EX50LN窄線寬準分子激光器
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,能源 |
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窄線寬準分子激光器是專業為光譜學應用設計的窄光譜帶寬準分子激光器,非常適合光刻,激光計量,熒光光譜,拉曼光譜,FBG等應用。
窄線寬準分子激光器采用穩定的非選擇性諧振腔提供純凈光譜輸出,例如ArF準分子激光器的帶寬約500pm,我們還可以在諧振腔內插入波長色散元件提供更窄線寬的表現，比如光譜線寬可到0.08pm,具有更好的相干性能。
窄線寬準分子激光器EX50LN采用超級INVAR穩定諧振腔技術獲得穩定的激光性能,248nm激光的相干長度可達7cm，并且具有良好的指向穩定性,非常適合長相干長度的激光激光應用，比如FBG制造.
這款窄線寬準分子激光器采用一系列創新性技術,包括電暈預電離技術，全金屬/陶瓷設計，提供超長靜態氣體壽命和動態氣體壽命。這款準分子激光器還采用內置真空泵和鹵素過濾器,不需要額外的真空器件即可獨立工作,
窄線寬準分子激光器可以通過計算機配套軟件控制,軟件可自動控制穩定激光輸出，可提示用戶激光器壽命和維護時間。
窄線寬準分子激光器規格參數EX50LN Specifications
| 工作物質 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF |
| 中心波長 nm | 157 | 193.3 | 248.35 | 308-311 | 351, 533 |
| 最大能量mJ. <1pm | 2 | 4 | 2 | 2 | |
| 最大能量mJ. <0.35pm | 1 Line | 0.75 | 2 | ||
| 波長調諧范圍 pm | +/- 200 | +/-200 | N/A | ||
| 平均功率@125Hz | 0.30 | .25 | 0.3 | 0.3 | |
| 平均功率 @250Hz | 0.5/1 | .5/1 | 0.50 | 0.5 | |
| 平均功率@500Hz | 1/2 | 1/2 | 1.0 | ||
| 功率穩定性 % | Call | <3% | |||
動態氣體壽命 | 10E6 | 12E6 | 15E6 | 20E6 | 15E6 |
| 靜態氣體壽命 （50%脈沖能量） | 10 days | 20 days | 30 days | 90 Days | 30 Days |
| 脈寬, ns | 14-18 | ||||
| 光束直徑, mm | 9 X 4 | ||||
| 發散角, mRad （全角） | 0.8 X 1.6 | ||||
| 激光管壽命 | 2-3 Billion Pulses | ||||
| 窗口壽命 | 200E6 | >500E6 | >500E6 | ||
| 制冷 | 空氣/水 | ||||
其它窄線寬準分子激光器 EX5ALN Specifications
| 工作物質 | ArF | KrF |
| 激光波長, nm | 193 | 248 |
| 最大能量, mJ | 5 | 15 |
| 線寬 pm | 25 | 20 |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調諧 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W @ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 最大重復頻率. Hz | 25/250 | |
| 穩定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態氣體壽命 50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | AIR | |
| 抖動 | 2nS | |
| 重量 | 16kg | |
其它窄線寬準分子激光器 EX10AR Specifications
| 工作物質 | ArF | KrF |
| 波長, nm | 193nm | 248nm |
| 最大能量., mJ | 20mJ | 26mJ |
| 線寬, pm | <20pm | <20pm |
| 光束形狀 | 高斯光束 | |
| 波長調諧范圍 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W@ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 重復頻率 Hz | 25/250 | |
| 穩定性 | <3% 1 Sigma | |
| 靜態氣體壽命50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脈寬 nS | 8 | |
| 穩定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管壽命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3X 6 | |
| 發散角（全角）, mRad | 1 X 2 | |
| 制冷 | 空氣 | |
| 時間抖動 | 2nS One Sigma | |
| 重量 | 16kg | |
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