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高溫真空氣氛爐除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區。實驗工作完畢時，若無人繼續使用，請關特殊氣體，保留N2流動， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如：cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。
1、高溫真空氣氛爐處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處。
2、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。
3、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
4、氰化鉀（KCN）不可與酸類混置，因兩者可產生劇毒之KCN氣體。
5、一旦發現有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員（技術員等）。
6、高溫真空氣氛爐請節約純水用量。
7、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。
8、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。
9、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。