OMT-5R系列研究級金相顯微鏡
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 | ||||||
觀察筒 | 30°傾斜,倒像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,三檔分光比雙目:三目=100:0或20:80或0:100 | 30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,瞳距調節:50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0或0:100 | |||||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm,視度可調 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X26.5mm,視度可調 | |||||
物鏡 | 明場半復消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X) | 明暗場半復消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X、100X) | |||||
物鏡轉換 (帶DIC插槽) | 明暗場5孔轉換器 | ,明暗場6孔轉換器 | 明場6孔轉換器 | 明場7孔轉換器 | |||
機架 | 反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程25mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能 | 透反兩用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程25mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統,雙路電源輸出,采用數字調光,具有光強設定與復位功能、反射/透射光切換開關,內置透射光濾色鏡(LBD、ND6、ND25) | |||||
載物臺 | 右手位4英寸機械平臺,行程105mmx102mm,帶Y軸鎖定機構,可帶透射系統擋光板,帶玻璃載物臺板 | ||||||
反射照明器 | 明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 | ||||||
燈室 | 12V100W鹵素燈室,透、反射通用,預定中心 | ||||||
其他附件 | 0.5XCTV,可調焦/DIC微分干涉組件/偏振片/干涉濾色片/測微尺/CCD/測量軟件 |
OMT-5R半導體檢查顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
南京LCD檢查觸摸屏檢查微分干涉半導體檢查顯微鏡南京LCD檢查觸摸屏檢查微分干涉半導體檢查顯微鏡
技術規格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈式三目(50mm-75mm) |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
轉換器 | 帶DIC插孔明暗場五孔轉換器 |
物鏡 | 平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡: 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
平臺 | 雙層移動平臺 |
平臺尺寸: 350mm×310mm | |
移動范圍:250mm×250mm | |
濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍、中性) |
調焦 | 粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm |
光源 | 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/100W,AC85V-230V亮度可調節 |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測工具 | 0.01mm |
可供附件 | 目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 | |
平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二維測量軟件 | |
專業金相圖像分析軟件 | |
DIC(10×、20×、40×、100×) | |
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
壓平機 | |
數字相機OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 測量軟件OMT-1.5D |
OMT-5R特點說明
1. 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術。
2. 拓展了物鏡的復用技術,無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一
觀察法中均提供高清晰的圖像質量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10X(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉換器。
OMT-4R金相顯微鏡(半導體顯微鏡)
用途
1)OMT-4R金相顯微鏡為蘇州歐米特型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業 / TFT玻璃 / COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2)OMT-4R金相顯微鏡機型采用4寸、6寸平臺設計,可適用于相應尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
特點
1)OMT-4R金相顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
2)OMT-4R金相顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術,多層寬帶鍍膜技術,采用長壽命LED光源
3)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察
歐米特OMT-4R金相顯微鏡技術參數(以下參數根據客戶實際需求配置)
配 置 | 參 數 |
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方法 | 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
觀 察 筒 | 30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或50:50 |
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 |
轉 換 器 | 5孔內傾式轉換器,帶DIC插槽 |
物 鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm | |
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm | |
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm | |
調焦機構 | 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 |
載 物 臺 | 4寸雙層機械移動平臺,行程105X105mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪 6寸三層機械移動平臺,行程158X158mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動(選配)另可選配:8寸移動平臺 |
照明系統 | 反射:帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿;單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調;透射:單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調;帶可變孔徑光闌 |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
CTV接口 | 1X、1/2X |
細節展示
OMT-4R金相顯微鏡(半導體顯微鏡)