光譜反射薄膜測厚儀
- 公司名稱 北京燕京電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/5/27 4:53:53
- 訪問次數(shù) 712
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等離子，清洗機(jī)微小信號(hào)測量儀;頻率特性分析儀;信號(hào)發(fā)生器;高速雙極型放大器;生體計(jì)測系統(tǒng);濾波器;計(jì)測系統(tǒng);LCR儀表;AE計(jì)測裝置;微小信號(hào)測量儀;鎖相放大器;鎖相電壓表;超低噪聲放大器;前置放大器;隔離放大器;交流電源;變頻電源;仿真電源;功率放大器;可編程濾波器;低噪聲放大器
廣泛應(yīng)用于：
半導(dǎo)體制造 （PR, Oxide, Nitride..）
液晶顯示器（ITO, PR, Cell gap…..）
醫(yī)學(xué)、生物薄膜或材料
印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉
光學(xué)薄膜 TiO2, SiO2, Ta2O5…..
半導(dǎo)體化合物
功能薄膜在MEMS /微光機(jī)電系統(tǒng) ?
非晶，納米及結(jié)晶硅
太陽能光伏材料涂層
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品規(guī)格：
波長范圍： 250到1100 nm
光斑尺寸： 500微米至5毫米
樣品尺寸： 200x200mm
基板尺寸：zui高達(dá)50毫米的厚度
測量厚度范圍： 2納米至50微米
測量時(shí)間： 2毫秒zui低
精度：優(yōu)于0.5 ％
重復(fù)性 ：<1 ?
系統(tǒng)配置:
•型號(hào)：SR100R
•探測器:2048像素CCD
•光源:大功率氘和鹵素光源
•光傳遞方式：光纖
•載物臺(tái)：黑色鋁合金,可方便調(diào)節(jié)樣品的高度，200mmx200mm大小
•通訊：與計(jì)算機(jī)的USB
•測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
•軟件：TFProbe 2.2
•電源：110 - 240伏交流電/ 50 - 60赫茲
•保修：一年主機(jī)及配件
主要特點(diǎn)：
易于安裝和容易操作的軟件視窗
*的光學(xué)設(shè)計(jì)，*的系統(tǒng)性能
陣列探測器系統(tǒng)，以確保快速測量
測量薄膜厚度和折射率，zui高達(dá)5層
可以收集反射，透射和吸收光譜，以毫秒為單位
能夠用于實(shí)時(shí)或在線厚度，折射率監(jiān)測
系統(tǒng)具有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
*的TFProbe軟件允許用戶使用NK表，有效快速的分析測試樣品。
可升級(jí)到中型（ Microspectrophotometer ）系統(tǒng)，開關(guān)磁阻電機(jī)繪圖系統(tǒng)，多通道測試系統(tǒng)，
直接測量的圖案或功能結(jié)構(gòu)
適用于許多不同類型的襯底上不同厚度測量
各種配件供特殊配置，如運(yùn)行測量的曲面
二維和三維圖形輸出和良好的用戶數(shù)據(jù)處理界面
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