- 【電子檢測】臺階儀在晶圓測試的應用09月14日
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子 | 探針尖半徑 | 50nm~25um |
臺階高度重復性 | 測量重復性可以到5? | 1? 測量樣品最大尺寸 | 50mm |
德國布魯克DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)可以提供更高的重復性和分辨率,測量重復性可以到5?。臺階儀這項性能的到了過去四十年Dektak技術,更加鞏固了其行業。不論應用于研發還是產品測量,通過在研究工作中的廣泛使用,DektakXT能夠做到功能更強大,操作更簡易,檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)的技術,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,從而可以廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發光二管的研發以及材料科學領域。
臺階儀DektakXT能實現:
1、 使用溫度條件:10-30℃;
2、很好的性能,臺階高度重現性低于4埃
3、Single-arch設計提供掃描穩定性
4、的“智能電子器件”設立了新低噪音基準
5、新硬件配置使數據采集時間縮短
6、64-bit,Vision64同步數據處理軟件,使數據分析速度高了10倍
7、頻率,操作簡易
8、直觀的Vision64用戶界面,操作簡易
9、針尖自動校準系統
10、布魯克(Bruker)以實惠的配置實現高的性能
11、單傳感器設計,提供單一平面上低作用和寬掃描范圍
建立在40多年的探針輪廓技術的知識和經驗薄膜測試儀,在基于微處理器的輪廓儀,和300mm自動輪廓儀DektakXT繼承了以往的。新的DektakXT是single-arch設計的探針輪廓儀,內置真彩高清光學攝像機,及安裝64-bit并行處理架構已獲得測量及操作效率的探針輪廓儀
當需要臺階高度、表面粗糙度、測量時,人們就會借助Dektak。引進DektakXT,Bruker能讓您進一步獲得表面測量
數據采集和分析速度
直接驅動掃描平臺,Dektak XT減少了掃描間的時間,而沒有影響分辨率和背景噪聲。這一改進大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描(就探針輪廓儀而言,通常是耗時的)的掃描速度。在行業的質量和重現性前提下,DektakXT可以將數據采集處理的速度。另外,DektakXT采用Bruker64-bit數據采集分析同步操作軟件Vision64,它可以大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數據分析。Vision64還具有行業內的直觀用戶界面,簡化了實驗操作設置,自動完成多掃描模式,讓重復和常規的實驗操作變得更快速簡潔。