恒溫恒壓冷水機組;恒溫恒壓凍水機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市川井機械設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 深圳市寶安區沙井街道黃埔東環路504號深源工業城
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2015/8/7 12:26:48
- 訪問次數 811
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恒溫恒壓冷水機組系統參數
恒溫恒壓冷水機組控制系統在MOCVD半導體芯片設備的應用
爭對深圳一生產LED芯片廠家的現狀,現車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺,根據客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。
初步設計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統分別對其進行恒溫恒壓供水,高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統進行恒溫恒壓供水,依據參數設計如下表:
設備 | 數量 | 冷水流量(m3/h) | 供水壓力 (bar) | zui小壓差 (bar) | 進水溫度 ℃ | 進水管徑 不繡鋼 | 所需配 冷水機 | 備注 |
1#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可調 | 2.76 | 18-20 | DN25 | 40HP | 水質為 純凈水 |
2#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可調 | 2.76 | 18-20 | DN25 | ||
3#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可調 | 2.76 | 18-20 | DN25 | 40HP | 水質為 純凈水 |
4#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可調 | 2.76 | 18-20 | DN25 | ||
5#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 (4-6)可調 | 2.76 | 18-20 | DN25 | 20HP | 水質為 純凈水 |
高溫烘爐 | 1 | 12 | 2.5 | | 22-25 | DN50 | 15HP | 水質為 純凈水 |
單管退火爐 | 1 | 3 | | | | DN20 | ||
XRD | 1 | 0.36 | 4 | ―― | 15-25 | DN15 |
二:變頻恒壓供水特點:
1.恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力,并根據壓力信號自動啟動備用泵,無級調整壓力,供水質量好,與傳統供水比較,不會造成管網破裂及水共振現象。
2.動平滑,減少電機水泵的沖擊,延長了電機及水泵的使用壽命,避免了傳統供水中的水錘現象。、采用變頻恒壓供水保護功能齊全,運行可靠,具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
4.系統配置可實現全自動定時供水,*實現無人值守自動供水.控制系統具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
5.系統根據用戶用水量的變化來調節水泵轉速,使水泵始終工作在高效區,當系統零流量時,機組進入休眠狀態,水泵停止,流量增加后才進行工作,節電效果明顯,比恒速水泵節電23%-55%。
6.變頻恒壓供水設備不設樓頂水池,既減少建筑物的造價,又克服了水源二次污染,氣壓波動大,水泵啟動頻繁和建造水塔一次性投資大,施工周期長,費用高等缺點。
7.整套設備只需一組控制柜和水泵機組,安裝非常方便,占地面積少。
8.本設備采用全自動控制,操作人員只需轉換電控柜開關,就可以實現用戶所需工況,操作簡單。
1.恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力,并根據壓力信號自動啟動備用泵,無級調整壓力,供水質量好,與傳統供水比較,不會造成管網破裂及水共振現象。
2.動平滑,減少電機水泵的沖擊,延長了電機及水泵的使用壽命,避免了傳統供水中的水錘現象。、采用變頻恒壓供水保護功能齊全,運行可靠,具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
4.系統配置可實現全自動定時供水,*實現無人值守自動供水.控制系統具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
5.系統根據用戶用水量的變化來調節水泵轉速,使水泵始終工作在高效區,當系統零流量時,機組進入休眠狀態,水泵停止,流量增加后才進行工作,節電效果明顯,比恒速水泵節電23%-55%。
6.變頻恒壓供水設備不設樓頂水池,既減少建筑物的造價,又克服了水源二次污染,氣壓波動大,水泵啟動頻繁和建造水塔一次性投資大,施工周期長,費用高等缺點。
7.整套設備只需一組控制柜和水泵機組,安裝非常方便,占地面積少。
8.本設備采用全自動控制,操作人員只需轉換電控柜開關,就可以實現用戶所需工況,操作簡單。
三:系統組成
本工程為冷凍水循環系統,采用2臺40HP水冷開放式冷水機、1臺20HP水冷開放式冷水機、1臺15HP水冷開放式冷水機組,系統分成3組循環;
○.水塔和制冷主機稱為冷卻水循環,此循環為自來水,為制冷主機散熱冷卻;
○.制冷主機與儲水箱之間為內部循環,此循環為純凈水,制冷主機把儲水箱內的水降到18-20℃;
○.儲水箱與MOCVD之間的為外部冷凍水循環,此循環為純凈水,高壓水泵把水箱內18-20℃水經精密過濾器后送到MOCVD設備,從設備出來23-25℃的水回至儲水箱,進入MOCVD設備的入水壓力在4-6bar之間,且壓力可通過控制面板的設定來調節所需的值。
冷卻水及其它配件內循環水泵、外循環水泵、冷卻水塔、冷水儲水箱、變頻器、點壓力變送器、高精密過濾器等組成。
四:恒壓供水工作原理: (以40HP帶2臺MOCVD設備為例,參考圖紙恒壓供水設備示意圖)
○.外循環變頻恒壓供水系統采用壓力控制器面板設定點壓力(進入2臺設備前的水壓力值),采用2個壓力傳感器(反饋為4~20mA)檢測水管中壓力,壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路,PID回路處理之后,送出一個水量增加或減少信號,控制馬達轉速,來調節入水的壓力值。
○.外循環變頻恒壓供水系統采用壓力控制器面板設定點壓力(進入2臺設備前的水壓力值),采用2個壓力傳感器(反饋為4~20mA)檢測水管中壓力,壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路,PID回路處理之后,送出一個水量增加或減少信號,控制馬達轉速,來調節入水的壓力值。
○.如進入2臺MOCVD的壓力不同,控制器的PLC會自動計算出進入2臺MOCVD前的點壓力平均值,再反饋為4~20mA給變頻器的PID回路,盡量使進入2臺MOCVD的入水壓力相同,使實際水管壓力與設定壓力相*。
○.設定值與實際值產偏差可在±0.5bar,進水壓力可恒定在設定值的所允許的范圍內(±0.5bar)。
○.當2臺MOCVD的進水壓力過高或過低時,裝在系統管道上的壓差旁通會進自動調節水的流向,使進入臺MOCVD實際水管壓力與設定壓力相*,隨著用水量的減少,變頻器自動減少輸出頻率,達到了節能的目的。
五:恒溫供水說明(參考圖紙恒壓供水設備示意圖)
恒溫體現在內循環系統上,制冷主機與儲水箱之間為內部循環,此循環為純凈水,制冷主機把儲水箱內的水溫恒定到18-20℃;
△ T---表示溫度偏差,表示壓縮機加載或卸載的溫度差(△T以下設定為
0.5℃)。
T ---表示水箱的實際溫度值
Ts---表示水箱的設定溫度值(Ts以下設定為18.5℃)
能量調節;有2個壓縮機:在升溫過程中,當T>Ts時啟動1臺壓縮機,當T >= Ts+△T時啟動2臺壓縮機;在降溫過程中,當T
升溫過程中,△T設定0.5℃,如水箱溫度Ts設定18.5℃,當水箱內實際溫度T≥19℃,控制器1#和2#壓縮機輸出,壓縮機延時開啟,機組進行制冷,水箱內溫度下降;
降溫過程中,水箱溫度Ts設定18.5℃,當水箱內實際溫度T=18.5℃時,2#壓縮機停止輸出,2#壓縮機停止運行,只開啟1個壓縮機,當水箱內實際溫度T=18℃時, 1#壓縮機停止輸出,此時所有壓縮機全部停止運行,機組處于待機恒溫狀況。
如此往復循環,水箱內溫度可穩定在18-20℃之間,
機組*次使用需提前半個小時開機,以便水箱溫度達到設定的溫度