DS-2000/1.0 無掩模光刻機
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京優(yōu)仕錦科技發(fā)展有限公司
- 品牌
- 型號 DS-2000/1.0
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/2/16 18:37:16
- 訪問次數(shù) 803
產(chǎn)品標(biāo)簽
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無掩膜光刻機型號 DS-2000/1.0型
1．技術(shù)特征采用DMD作為數(shù)字掩模，像素1024×768
采用1倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約14mm×10mm
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。
采用進口精密光柵、進口電機、進口導(dǎo)軌、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，
可適應(yīng)100mm×100mm基片。
2．技術(shù)參數(shù)
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）；
照明均勻性：±2%；物鏡倍率：1倍
曝光場面積：14mm×10mm 光刻分辨力：14μm
工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；
工件臺運動定位精度：±1.5μm；
調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm；
調(diào)焦臺運動行程：6mm 轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上
基片尺寸外徑: Ф15mm—Ф100mm，
厚度：0.1mm--5mm
3．外形尺寸：840mm（長）×450mm（寬） ×830mm（高）
1．技術(shù)特征采用DMD作為數(shù)字掩模，像素1024×768
采用1倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約14mm×10mm
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。
采用進口精密光柵、進口電機、進口導(dǎo)軌、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，
可適應(yīng)100mm×100mm基片。
2．技術(shù)參數(shù)
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）；
照明均勻性：±2%；物鏡倍率：1倍
曝光場面積：14mm×10mm 光刻分辨力：14μm
工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；
工件臺運動定位精度：±1.5μm；
調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm；
調(diào)焦臺運動行程：6mm 轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上
基片尺寸外徑: Ф15mm—Ф100mm，
厚度：0.1mm--5mm
3．外形尺寸：840mm（長）×450mm（寬） ×830mm（高）
無掩模光刻機系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)：曝光光學(xué)系統(tǒng)、光勻化技術(shù)、圖形發(fā)生器、投影物鏡、對焦系統(tǒng)、對準(zhǔn)系統(tǒng)、精密工件臺、步進拼接、控制軟件等
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