雙頻激光干涉儀(型M700,德國耶拿爾公司生產,*)
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海貝丁漢工業自動化設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 德國
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2018/5/5 21:56:03
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在德國,耶拿地區以生產蔡司光學產品而聞名。位于該地區的耶拿爾(JENAer)公司生產的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產品中,由于具有*的性能優勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理,德國耶拿爾JENAer公司生產的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀,并非單頻干涉原理。 產品功能 定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量,還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等,從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量,廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。 性能優勢 l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商,德國耶拿爾公司是其中的一家。 l 全部部件皆在德國生產制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。 l 測量系統采用模塊化設計,各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),則僅采購所需功能部分的光學部件(直線度光學鏡),其他不需要的功能暫時可以不采購;若后期有其他功能的需求,補充采購功能對應的部件即可。 l 激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,一小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調整,調整結果更準確。 l 采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。 l 無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。 l 信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,zui多可實現六軸聯動。 工作原理 型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm,640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量,不會出現干擾誤差,信號延時時間極短。 采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上,避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。 技術參數
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應用光路圖
以上為直線度測量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf
激光干涉儀說明書(中文).pdf