韓國MAT-PECVD電解熱水洗式尾氣處理設備
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 西能光伏科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 韓國MAT
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2015/7/24 7:27:54
- 訪問次數 453
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特氣柜(GC)、氣瓶架(Rack)、VMB/VMP、百級/千級/萬級凈化車間潔凈系統
尾氣處理設備(Scrubber)
化學品集中供液系統、濃縮化學品傳輸系統、槽車到設備化學品傳輸系統；
化學品稀釋及混合系統、
全位置自動管管焊機、管路焊接工程
VCR接頭和閥門
SWG卡套接頭和閥門
PFA接頭和閥門
特氣,普通氣,高純潔凈氣體,
真空泵、干泵
質量流量計
韓國MAT尾氣處理設備（Scrubber）適用于：非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器等PECVD制程、半導體、微電子等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中產生的廢氣.
處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下優點：
1. 整機設計美觀, 安全標準。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長時間運轉。
3．操作容易上手、保養簡單快速、零料件經久耐用，性價比高
4．燃燒反應室可定時自動清潔, 長時間運轉效率穩定。
System type
Heat-Wet
Features
* Easy Maintenance : Long PM term
* Vertical structure : Strong for powder clogging
* Reduced footprint
* High performance
Capacity & Dimensions
500SLM
700mm（W）x850mm（D）x1610mm（H）
Utility
Power（220V）, CDA, N2, Water, Drain, Exhaust
采購中心
化工儀器網