在微電子與集成電路制造領域,精度與效率是永恒的追求。托托科技自主研發無掩模光刻機,以其革命性的高階灰度光刻能力,為行業帶來了變革。
一、重塑光刻工藝
托托科技自主研發無掩模光刻機融合了激光直寫技術與DMD無掩模技術,實現了在材料表面直接進行高精度加工。這一技術突破,讓我們告別了傳統掩模版的束縛,邁入了高效、靈活的光刻新時代。
二、核心功能,彰顯性能
靈活設計:無需掩模版,省去制版時間和成本,快速驗證設計理念。
高精度加工:400 nm的加工精度,滿足大多數高精度加工需求。
高效生產:1200 mm2/min的加工速度,2 m2的加工幅面,大幅提升生產效率。
灰度光刻:4096階的灰度光刻能力,構建復雜細膩的微觀結構。
三、特色功能,提升用戶體驗
直接繪圖:快速實現設計圖案的繪制,提高研發效率。
精準套刻:綠光指引,實現精準對準,確保光刻質量。
陣列光刻:快速確認工藝參數,節省用戶時間。
主動對焦:實時對準,確保光刻聚焦清晰。
四、廣泛應用,覆蓋多個領域
托托科技無掩模光刻機廣泛應用于科學研究、定制化生產、快速原型制造等領域,為電子器件、生物醫藥、光學元件、微機械等行業提供高效、靈活的解決方案。
五、推動行業發展,共創美好未來
托托科技無掩模光刻機的問世,不僅提升了微電子與集成電路制造領域的精度和效率,還為行業帶來了靈活性。我們堅信,這款產品將助力我國微電子與集成電路制造業邁向更高水平,共創美好未來。
托托科技無掩模光刻機——一款創新產品,為您帶來高效、精準、靈活的制造體驗!