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狹縫式涂布機

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南京博創半導體設備有限公司成立于2019年主體經營:1.半導體制造相關設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產設備和R&D研發設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(新港開發區)恒泰路6號

 

172nm準分子,臭氧發生器,照度計,Robot,EB照射器

產地類別 進口

狹縫式涂布機型號SFT-GT400H-2DT-2V,用于鈣鈦礦材料涂布,玻璃尺寸為300×400mm(傳送寬度300mm),產品厚度:0.5-2mm,涂布材料為鈣鈦礦:粘度10-200cp,固含量:10-20%,雙刀頭及雙供液系統設計,根據生產需求,可選擇材料進行涂布;干膜厚度:0.5μm,濕膜厚度:5-10μm

涂布厚度要求:

  1. 鈣鈦礦:干膜厚度0.4-2μm,濕膜:5-10μm;

  2. 兩腔室,使用干泵,真空度≤10Pa,腔室帶加熱功能,常用60℃;

  3. 抽速可在程序內設定分段控制(至少包含兩步以上:慢抽、快抽、充氣);

  4. VCD內支撐pin只能接觸玻璃無效區;

  5. 需帶廢氣冷凝裝置及冷凝廢液桶滿液位報警。

涂布區域要求:無膠區:離玻璃四周邊緣2mm范圍內,膜厚均勻性保證區域:中心區域286mm×386mm。

狹縫式涂布機均勻性要求:保證區域均勻性要求:5%以內;兩種材質,涂布2層。

平臺真空要求:平臺真空需分布至玻璃邊緣,防止玻璃變形造成的翹起。

靜電處理 ≤1000V(配套基恩士靜電裝置)。

破片率 ≤0.15%(來料不良除外)。

凈化級別 100 級(機械手搬運區域,配套直流式電機 FFU)。

設備外形尺寸 5800×2800×1800mm(不含三色燈)。

電壓 三相 AC380V 50/60HZ 20KW。

氣壓: 0.5-0.7Mpa

真空 ≤-75Kpa(客戶提供真空源)

冷卻水 :無

排氣量 :設備配套強排風機,排風口 ?100mm,排風量 100m3/min,28 機器重量 約2200Kg

設備外觀 :外罩板金件采用 304 鏡面不銹鋼材料,設備底部有螺紋地腳及地腳滑輪

人機界面操控方式:

A、在觸摸屏/顯示屏上顯示各 I/O 點的狀態,方便故障問題查找。B、在觸摸屏/顯示屏上顯示自動復位及自動運行條件滿足的狀態,當設備無法復位或無法自動運行時,方便確認是那部分條件沒有滿足

安全防護:

軟件動作互鎖及配套安全對射光柵、安全門開關。視窗部分采用透明防靜電 PVC

板、阻值 105-9,機架接地電阻<4Ω

連線通訊方式: 設備前后端配有 24pin 標準 Interface 接口,可與上/下游設備聯機

系統通訊方式:

由PLC或工控機控制的設備

1、通訊接口:預留以太網接口。通訊協議:TCP/IP或者Modbus TCP通訊協議,2、設備廠家同時還要提供監控系統的數據點表(PLC或工控機的數據區可以提供監控系統需要的數據點表供上位系統進行讀取)。

3、若為上下位系統雙向交互信息,設備供應商需要下位軟件開發工作,實現雙向控制邏輯。

4、最終設備設計前需與客戶相關人員確認“生產管理系統”通訊需求。

其他:

1、待機狀態:黃燈常亮;2、運行狀態:綠燈常亮;3、流程結束:綠燈閃爍

機器運行安全保護:

1、設備設有急停開關,當發現設備異常或緊急事件時,按下急停開關,待故障檢修排除后,機器進行原點復位后方可繼續運行;

2、設備設有安全門禁開關,機器生產運作中打開安全門,機器將停機報警,安全門沒有關閉,設備無法啟動運行,關閉所有門后,按下啟動按鈕,機器方可繼續運行。

3、設備本體必須設有良好的接地端子和漏電安全防護裝置;

4、設備操作面有安全保護對射光柵,在設備運行過程,檢測及防止人員接觸到機器內部運動部件,起到報警及停機功能;

5、本公司制作的設備,具有設計合理性及使用安全性,采用的電氣元器件、線路等相關材料,符合國家安全準則及標準,符合國家標準阻燃規定,人員操作方面采用安全防護設計,能夠及時有效保證人員操作安全,設備本體并粘貼有相關安全標志。

6、機器完成安裝調試后,設備廠家調試人員必須對使用操作員工進行安全操作培訓及簽名。

主要元器件(廠家提供):

狹縫式涂布機

狹縫式涂布機

狹縫式涂布機

狹縫式涂布機

狹縫式涂布機





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