Kleindiek納米探針臺是基于SEM/FIB的材料，半導體器件的電學性能表征系統。納米級微操縱器和相關的探針軟硬件模塊組合提供多功能的納米探測的解決方案，用于半導體器件故障分析和穩定微弱電流的測量。

Kleindiek微納米操縱儀是安裝在掃描電子顯微鏡內用于實現微納米材料/器件的操縱或是實現對于納米材料/器件的電流測量及材料機械性能的測試（選配插件 FMS-EM） 。

微納米操縱儀， 在 SEM 電鏡樣品室內像一只或多只靈活的”手“。 主要功能包括：

（1） 在SEM 電鏡觀察過程中樣品的原位操縱， 搬移等；

（2） 在雙束離子刻蝕系統中通過操縱儀和微鑷子（選配插件 MGS2-EM） 提取雙束系統制備的 TEM 薄片樣品；

（3） 通過選配EBIC 放大器， 對樣品做 EBIC/EBAC/RCI 等成像， 實現微納米材料/器件的 PN 結觀測， 電阻變化定位， IC 開路探測， 失效分析等功能。

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