單晶硅片厚度測定儀

單晶硅片厚度測定儀

CHY-CA測厚儀采用機械接觸式測量方式，嚴格符合標準要求，有效保證了測試的規范性和準確性。專業適用于量程范圍內的塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測量。

產品特征

嚴格按照標準設計的接觸面積和測量壓力，同時支持各種非標定制

測試過程中測量頭自動升降，有效避免了人為因素造成的系統誤差

支持自動和手動兩種測量模式，方便用戶自由選擇

可選系統自動進樣，進樣步距、測量點數和進樣速度等相關參數均可由用戶自行設定

實時顯示測量結果的最大值、最小值、平均值以及標準偏差等分析數據，方便用戶進行判斷

配置標準量塊用于系統標定，保證測試的精度和數據一致性

系統支持數據實時顯示、自動統計、打印等許多實用功能，方便快捷地獲取測試結果

5寸觸摸屏操控，方便用戶進行試驗操作和數據查看

標準的USB接口，便于系統與電腦的外部連接和數據

測試標準

該儀器符合多項國家和國際標準：GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、BS 3983、BS 4817

測試應用

基礎應用

薄膜、薄片、隔膜        紙張、紙板

箔片、硅片        金屬片

紡織材料        固體電絕緣體

無紡布材料，如尿不濕、衛生巾片材等

擴展應用（需特殊附件或改制）

量程擴展至5 mm、10 mm，適用于測試薄膜、片材的厚度

曲面測量頭，滿足特殊場合的厚度測試

技術指標

指標        參數

測試范圍        0 ~ 2 mm（常規）

0 ~ 6 mm；10 mm（可選）

分辨率        0.1 μm

測量壓力        17.5±1 kPa（薄膜）；50±1 kPa（紙張）

接觸面積        50 mm2（薄膜）；200 mm2（紙張）

注：薄膜、紙張任選一種；非標可定制

進樣步距        0 ~ 1000 mm（可選）

進樣速度        0.1 ~ 99.9 mm/s

氣源壓力        0.4 ~ 0.6 MPa（氣源用戶自備）

氣源接口        Ф6 mm聚氨酯管

電源        AC 220 V 50 Hz

外形尺寸        274 mm (L) × 330 mm (W) × 398 mm (H)

凈　　重        25 kg

產品配置

標準配置：主機、標準量塊一件、微型打印機

選購件：專業軟件、通信電纜、測量頭、配重砝碼、自動進樣裝置

備注：本機氣源進口為Ф6mm聚氨酯管；氣源用戶自備