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皂膜氣體流量標準裝置

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愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電 子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成 。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能 制造創新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年,位于無錫新吳區清源路20號大學科技園 。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS,專業從事氣體質量流量測量與控制 。 愛拓利擁有自己的研發團隊,具有高水平的產品設計、結 構、硬件和軟件等研發能力,是國內少數能夠自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企 業 , 更是國內極少數能夠自主研發生產氣體流量計及流量控制器核心部件( 高精度氣體流量傳感器和高穩定性微型比例閥 )的氣體流量控制產品生產廠家。愛拓利質量流量計及控 制器被廣泛應用于半導體、光 伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器 、石化、制氣 、醫療 、食品 、工業自動化控制等行業。在不斷追求創新和突破的同時,愛拓利十分注重產品品質。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質量控制體系,并通過了ISO9001質量體系認證。通過標準化生產,規范化管理 ,愛拓利持續穩定地向顧客提供高質量的合格產品。通過多年的研發、生產和應用經驗積淀,愛拓利先后推出了多款氣體質量流量計和控制器。支持多種通訊協議,氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高 、響應速度快、性能穩定 。

氣體流量計

應用領域 綜合

ESMFM-610 皂膜氣體流量標準裝置,采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測量,顯示直觀、操控方便、數據準確、測量范圍大并可保存多達10W 條以上黑歷史測量數據。該儀器廣泛用于小氣體流量的測量及泄漏率的檢測。高配置款內置4 路高精度、高控制穩定性的氣體質量流量控制器(MFC),為測量提供高精度、高穩定性的氣體輸出,使測量更加精度、便捷。



皂膜氣體流量標準裝置特點

多通道測量:可根據不同的測量量程選擇適合的測量通道,大大提高氣體流量的測量范圍及測量精度,測量通道切換簡便。

采樣準確:采用高速、高靈敏度紅外傳感器采樣,高運算能力芯片控制計時,使采樣時間準確,從而避免因人工讀數造成的誤差,大大提高儀器的整機精度。

實時溫度、壓力測量及轉換:高精度的溫度及壓力傳感器,實時、準確的對待測氣體進行溫度和壓力的測量,將測量的工況流量同步計算轉換成需要的標況流量值 。

智能處理及控制:自動識別測量通道,各通道獨立顯示標況流量值,標況溫度可選;自動統計處理及記錄測量數據(平均值,RSD)

內置 4 路MFC氣體質量流量控制器,為高精度的氣體流量測量控制穩定的氣流,使測量更精度、便捷。

大屏幕顯示,操作簡潔便捷。



應用場景

氣體采樣器流量校正

煙道監測儀器流量校正

實驗室分析儀器載氣流量校正

測試儀器氣體流量校正

氣體流量測量計校正

工件泄漏率檢測



皂膜氣體流量標準裝置


皂膜氣體流量標準裝置



主要參數

測量流量范圍
    通道一:0.05~30 mL/min
    通道二:20~1000 mL/min
    通道三:600~6000mL/min

測量流量精度等級     0.5 級

4路質量流量控制器范圍及精度
   氣路 1:量程50sccm,精度:0.01sccm
   氣路 2:量程300sccm,精度:0.1sccm
   氣路 3:量程1000sccm,精度:0.1sccm
   氣路 4:量程6000sccm,精度:1sccm

環境溫度     0.5 級

相對濕度     85%

供電電源     220VAC

適用環境     非防爆場所




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熱流計


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